恭喜浙江数翰科技有限公司薛原获国家专利权
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龙图腾网恭喜浙江数翰科技有限公司申请的专利基于MEMS的高光谱系统及光谱仪获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114485937B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210060903.3,技术领域涉及:G01J3/28;该发明授权基于MEMS的高光谱系统及光谱仪是由薛原;赵瑞凡;凌明;韩中旭设计研发完成,并于2022-01-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于MEMS的高光谱系统及光谱仪在说明书摘要公布了:本发明涉及高光谱成像技术,公开了基于MEMS的高光谱系统及光谱仪,其包括光源121和光束处理单元,MEMS扫描微镜151,MEMS扫描微镜151为阵列式的扫描微镜;光源121经光束处理单元处理后的光束142进入MEMS扫描微镜151,光束142通过MEMS扫描微镜151按照需求依次反射;干涉系统160包括MEMS平动微镜163,MEMS扫描微镜151反射后的光束142进入MEMS平动微镜163,MEMS平动微镜163对光束142进行调制并反射;本发明设计的光谱仪其体积小、分辨率高、稳定性好,而且成本低。
本发明授权基于MEMS的高光谱系统及光谱仪在权利要求书中公布了:1.基于MEMS的高光谱系统,包括光源(121)和光束处理单元,其特征在于,还包括MEMS扫描微镜(151),MEMS扫描微镜(151)为阵列式的扫描微镜;光源(121)经光束处理单元处理后的光束(142)进入MEMS扫描微镜(151),光束(142)通过MEMS扫描微镜(151)按照需求依次反射;还包括干涉系统(160),干涉系统(160)包括MEMS平动微镜(163),MEMS扫描微镜(151)反射后的光束(142)进入MEMS平动微镜(163),MEMS平动微镜(163)对光束(142)进行调制并反射;光束处理单元包括第一透镜组(110)和第一分光系统(130),第一透镜组(110)至少由1组透镜组成;光源(121)经样品后的光束(142)传至第一透镜组(110),第一透镜组(110)对光束(142)进行处理,处理后的光束(142)通过第一分光系统(130)分成2组光束(142),一组光束(142)进入成像系统,另一组光束(142)形成光束(142),进入MEMS扫描微镜(151);光源包括但不限于宽带光源。
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