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龙图腾网恭喜南京晶升装备股份有限公司申请的专利一种液相法碳化硅长晶时晶体质量的测量系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114414632B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210034866.9，技术领域涉及：G01N27/04；该发明授权一种液相法碳化硅长晶时晶体质量的测量系统及方法是由李辉;苏闻峰;毛瑞川;王守琛设计研发完成，并于2022-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种液相法碳化硅长晶时晶体质量的测量系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种液相法碳化硅长晶时晶体质量的测量系统，包括设置有液体原料的坩埚、石墨盘以及驱动石墨盘上下移动的石墨盘驱动装置，石墨盘下方设置生长晶体籽晶，籽晶或晶体始终与液体原料接触，石墨盘上方设置电连接的第一导电棒，坩埚下方设置电连接的第二导电棒，电阻检测模块用于实时检测两个导电棒之间的电阻，数据采集模块用于采集石墨盘移动的位移数据，计算模块用于计算晶体的质量，显示模块用于实时显示晶体的质量。通过导电棒与石墨盘电连接，并通过实时测量导电棒之间的电阻，将电阻转化为碳化硅晶体生长过程中的质量，并实时显示，有助于操作人员实时观测碳化硅晶体的生长是否符合要求，显示的碳化硅晶体长晶质量较为准确。

本发明授权一种液相法碳化硅长晶时晶体质量的测量系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种液相法碳化硅长晶时晶体质量的测量系统，包括坩埚4、石墨盘2以及驱动石墨盘2上下移动的石墨盘驱动装置，所述坩埚4内设置液体原料3，所述石墨盘2下方设置籽晶6，碳化硅晶体8生长在籽晶6上，所述籽晶6或碳化硅晶体8始终与液体原料3接触，其特征在于，还包括数据采集模块、电阻检测模块7、计算模块和显示模块，所述石墨盘2上方设置第一导电棒1，且第一导电棒1与石墨盘2电连接，所述坩埚4下方设置第二导电棒5，且第二导电棒5与坩埚电连接，所述电阻检测模块用于实时检测第一导电棒1和第二导电棒5之间的电阻，所述数据采集模块用于采集石墨盘2移动的位移数据，在长晶前，电阻检测模块7检测第一导电棒1、石墨盘2、籽晶6、液体原料3、坩埚4、第二导电棒的总电阻值；在长晶时，计算模块根据电阻检测模块检测的实时电阻和预先计算得到的初始系统的总电阻值以及石墨盘2移动的位移数据得到碳化硅晶体的电阻，根据碳化硅晶体的电阻率及得到的碳化硅晶体的电阻计算得到碳化硅晶体的质量，所述显示模块用于实时显示计算模块得到的碳化硅晶体8的质量。

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