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龙图腾网恭喜江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利一种具有终点检测功能的离子束刻蚀系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114373665B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111585443.8，技术领域涉及：H01J37/244；该发明授权一种具有终点检测功能的离子束刻蚀系统是由李雪冬;刘海洋;刘小波;朱小庆;许开东;陈璐设计研发完成，并于2021-12-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有终点检测功能的离子束刻蚀系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种具有终点检测功能的离子束刻蚀系统，离子束刻蚀系统包括载台和聚焦环；载台包括晶圆承载面、厂务连接板和载台座，聚焦环包括固定部、环体和台阶部，环体通过固定部固定于载台上，台阶部下表面与环体外径相连，台阶部上表面高于晶圆上表面；终点检测装置包括信号收集探头、信号传输线和信号处理器；信号收集探头的采集端放置在台阶部的孔内，信号收集探头的数据输出端与信号传输线连接，信号收集探头对临近晶圆处的实时光谱信号进行实时采集，并将采集结果经由信号传输线发送至信号处理器，信号处理器根据实时光谱信号计算得到相应的产物基团浓度。本发明能够提高终点检测信号强度、稳定性和重复性，并且不会影响腔室内真空。

本发明授权一种具有终点检测功能的离子束刻蚀系统在权利要求书中公布了：1.一种具有终点检测功能的离子束刻蚀系统，其特征在于，所述离子束刻蚀系统包括载台和聚焦环20；载台包括暴露于反应腔真空中的晶圆承载面10、隔绝反应腔内真空与大气的厂务连接板30和与大气相通的载台座40，聚焦环20围绕晶圆承载面10设置；聚焦环20包括固定部、环体和台阶部，环体通过固定部固定于载台上，晶圆90置于环体上，台阶部下表面与环体外径相连，台阶部上表面高于晶圆90上表面；终点检测装置包括信号收集探头100、信号传输线102和信号处理器；所述台阶部内设置有孔50，所述信号收集探头100的采集端放置在孔50内，信号收集探头100的数据输出端与信号传输线102连接，所述信号收集探头100对临近晶圆90处的实时光谱信号进行实时采集，并将采集结果经由信号传输线102发送至信号处理器，所述信号处理器根据实时光谱信号计算得到相应的产物基团浓度；所述孔50为通孔50；孔50呈弧形结构，其一端通向厂务连接板30且与厂务连接板30垂直，另一端延伸至台阶部内侧壁，位于晶圆90上方且与晶圆平面呈一夹角；所述信号收集探头100的数据输出端从聚焦环20中伸出，且通过安装在厂务连接板30上的密封转接单元与信号传输线102密封连接。

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