恭喜意法半导体股份有限公司P·弗里杰里奥获国家专利权
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龙图腾网恭喜意法半导体股份有限公司申请的专利MEMS微镜的闭环位置控制获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114578546B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111453537.X，技术领域涉及：G02B26/08；该发明授权MEMS微镜的闭环位置控制是由P·弗里杰里奥;G·兰格弗尔德;L·莫利纳里;G·马约基;A·巴拜利设计研发完成，并于2021-12-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS微镜的闭环位置控制在说明书摘要公布了：本文公开了一种用于投影系统的控制系统，包括第一减法器，第一减法器接收输入驱动信号和反馈信号、并从中生成第一差信号，反馈信号指示投影系统的准静态微镜的位置。2型补偿器接收第一差信号并从中生成第一输出信号。基于导数的控制器接收反馈信号并从中生成第二输出信号。第二减法器接收第一和第二输出信号，并从中生成第二差信号。第二差信号用于控制投影系统的反射镜驱动器。高阶谐振均衡电路从接收来自投影系统前端接收指示准静态微镜位置的预输出信号，投影系统前端信号指示准静态的位置以及、并从中生成反馈信号。
本发明授权MEMS微镜的闭环位置控制在权利要求书中公布了：1.一种用于投影系统的控制系统，包括：第一减法器，接收输入驱动信号和反馈信号，并且所述第一减法器被配置为从所述输入驱动信号和所述反馈信号中生成第一差信号，其中所述反馈信号指示所述投影系统的微镜的位置；基于2型补偿器的控制器，被配置为接收所述第一差信号并从中生成第一输出信号；基于导数的控制器，被配置为接收所述反馈信号并从中生成第二输出信号；第二减法器，接收所述第一输出信号和所述第二输出信号，并且所述第二减法器被配置为从所述第一输出信号和所述第二输出信号中生成第二差信号，其中所述第二差信号用于控制所述投影系统的反射镜驱动器；以及高阶谐振均衡电路，从所述投影系统的模拟前端接收指示所述微镜的位置的预输出信号、并从中生成所述反馈信号。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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