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龙图腾网恭喜诺德凯(苏州)智能装备有限公司申请的专利一种硅片检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113624777B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110997707.4，技术领域涉及：G01N21/94；该发明授权一种硅片检测装置是由卢亚宾;梁坤;张聪;云宏霞;曹深深设计研发完成，并于2021-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种硅片检测装置在说明书摘要公布了：本发明涉及硅片检测设备领域，公开了一种硅片检测装置。其包括传送单元、发光单元、反射单元、第一采集单元和第二采集单元。传送单元能够将硅片由第一检测位置沿传送方向传送至第二检测位置；发光单元包括第一光源和第二光源，分别置于传送单元垂直于传送方向的两侧；反射单元置于传送单元远离第一光源的一侧，反射单元包括两个反射镜，沿传送方向间隔设置并形成采集间隙；第一采集单元置于传送单元远离第二光源的一侧；第二采集单元设置在反射单元远离传送单元的一侧，第二采集单元能够通过采集间隙采集处于第一检测位置与第二检测位置之间的硅片的图像。本发明在同一工序内完成硅片的崩边及脏污的检测，提高了结构紧凑性。

本发明授权一种硅片检测装置在权利要求书中公布了：1.一种硅片检测装置，其特征在于，包括：传送单元，能够将硅片10由第一检测位置沿传送方向传送至第二检测位置，所述硅片10沿所述传送方向的两侧边缘分别为第一边缘和第二边缘；发光单元，包括第一光源1和第二光源2，所述第一光源1与所述第二光源2分别置于所述传送单元垂直于所述传送方向的两侧；反射单元5，置于所述传送单元远离所述第一光源1的一侧，所述反射单元5包括两个反射镜51，两个所述反射镜51沿所述传送方向间隔设置并形成有采集间隙511；第一采集单元，置于所述传送单元远离所述第二光源2的一侧，当所述硅片10位于所述第一检测位置时，所述第一采集单元能够通过其中一个所述反射镜51采集到所述第一边缘的图像，当所述硅片10位于所述第二检测位置时，所述第一采集单元能够通过另一个所述反射镜51采集到所述第二边缘的图像；第二采集单元，设置在所述反射单元5远离所述传送单元的一侧，所述第二采集单元能够通过所述采集间隙511采集处于所述第一检测位置与所述第二检测位置之间的所述硅片10的图像；所述第二采集单元包括第二采集件4，所述第二采集件4为线阵相机，所述第二光源2置于所述反射单元5与所述第二采集件4之间并开设有透光缝隙，所述透光缝隙与所述采集间隙511正对设置，所述第二采集件4能够依次通过所述透光缝隙与所述采集间隙511采集所述硅片10的图像；上料单元，所述上料单元能够拾取所述硅片10并向所述传送单元供给所述硅片10。

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