恭喜应用材料公司丹尼尔·谢弗-科皮托获国家专利权
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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利阴极组件和沉积装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222581094U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202190001046.9,技术领域涉及:H01J37/34;该实用新型阴极组件和沉积装置是由丹尼尔·谢弗-科皮托;托拜西·伯格曼设计研发完成,并于2021-06-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本阴极组件和沉积装置在说明书摘要公布了:提供一种阴极组件10和一种沉积装置100。所述阴极组件包括:可旋转管622,所述可旋转管具有旋转轴线、第一端和第二端,所述第一端沿所述旋转轴线的方向与所述第二端相对;冷却剂接纳罩壳20,所述冷却剂接纳罩壳在所述可旋转管622中;和侧部元件624,所述侧部元件设置在所述可旋转管622的所述第一端处,所述侧部元件624具有至少一个开口625,所述至少一个开口625被配置为使冷却剂能够从所述冷却剂接纳罩壳20排出所述可旋转管622。
本实用新型阴极组件和沉积装置在权利要求书中公布了:1.一种阴极组件10,其特征在于:可旋转管622,所述可旋转管具有旋转轴线、第一端和第二端,所述第一端沿所述旋转轴线的方向与所述第二端相对;冷却剂接纳罩壳20,所述冷却剂接纳罩壳在所述可旋转管622中;和侧部元件624,所述侧部元件设置在所述可旋转管622的所述第一端处,所述侧部元件624具有至少一个开口625,所述至少一个开口625被配置为使冷却剂能够从所述冷却剂接纳罩壳20排出所述可旋转管622,其中所述至少一个开口设置在所述侧部元件的第一半部中,所述第一半部由与所述旋转轴线正交的线限定。
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