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恭喜广东海洋大学王文华获国家专利权

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龙图腾网恭喜广东海洋大学申请的专利一种基于高纯石英压力敏感元的光纤传感器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112665773B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110020846.1,技术领域涉及:G01L11/02;该发明授权一种基于高纯石英压力敏感元的光纤传感器及其制备方法是由王文华;吴伟娜;师文庆;熊正烨;付东洋;田秀云;谢玉萍;罗元政;赖学辉;费贤翔设计研发完成,并于2021-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于高纯石英压力敏感元的光纤传感器及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种基于高纯石英压力敏感元的光纤传感器及其制备方法,包括光纤、石英套管、高纯石英压力敏感元;石英套管内设有通孔,所述通孔内插入所述光纤;石英压力敏感元与石英套管连接。本发明能够适用于除氢氟酸和150℃以上的热磷酸以外的耐腐蚀等恶劣环境,因生物组织对石英材料不排斥所以也适用于颅内压的监测等应用;并通过激光热熔的方式免胶固定,能够提高稳定、可靠性和适用范围;石英压力敏感元的厚度由光学冷加工工艺控制,无需化学腐蚀等工艺,提高光纤传感头的稳定性、可靠性和寿命;本发明制作过程简单、快捷,传感器安全可靠、稳定性好,结合传统的光学冷加工工艺能够实现极小厚度的石英压力敏感元热熔。

本发明授权一种基于高纯石英压力敏感元的光纤传感器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种基于高纯石英压力敏感元的光纤传感器,其特征在于:包括光纤、石英套管、高纯石英压力敏感元;所述石英套管内设有通孔,所述通孔内插入所述光纤;所述石英压力敏感元与所述石英套管连接;所述光纤传感器的制备方法,包括以下步骤:S1、选取长度6-8mm的石英套管,利用飞秒激光将石英套管的端面进行加工,并快速地加工出规则且光滑的梯形凹坑,将加工后的石英套管置于酒精溶液中超声波清洗2-5分钟,重复清洗2-3遍,最后100℃烘干1-2小时;并利用光学冷加工工艺对石英套管的梯形凹坑端面进行磨砂、抛光处理,光洁度不低于12级,同时确保其端面垂直于套管轴线,垂直度误差小于1度,最后用无水酒精将抛光好的端面擦拭干净;S2、将石英压力敏感元的其中一个面进行磨砂和抛光,光洁度为3-6级,将所述石英压力敏感元的另外一个面磨砂抛光处理,使其光洁度达到12级或12级以上,同时使其厚度加工到15微米-500微米之间的需求厚度,然后对磨砂抛光好的压力敏感元用无水酒精擦拭干净;S3、将所述S2中加工后的石英压力敏感元置于300℃的恒温箱静置24小时然后自然冷却的退火处理;S4、将所述S3中退火处理后的石英压力敏感元利用CO2激光对其切割成边长是所述石英套管直径1.3倍大小的正方形,然后用无水酒精擦拭将其擦拭干净;S5、利用玻璃表面的高光洁度将所述S4中切割后的石英压力敏感元光胶吸附到所述石英套管的端面;S6、将所述光胶吸附到石英套管端面的石英压力敏感元和靠近所述石英套管端面的边缘用激光热熔固定,同时将所述石英套管周围多余的石英压力敏感元用CO2激光切割掉,然后将其置于300℃的恒温箱静置24-48小时随之自然冷却进行退火处理;S7、设计好静置传感器的法布里-珀罗腔的腔长,将处理好的光纤采用紫外光学胶胶粘固定到石英套管内。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人广东海洋大学,其通讯地址为:524088 广东省湛江市麻章区海大路1号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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