恭喜上海集成电路研发中心有限公司康晓旭获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海集成电路研发中心有限公司申请的专利一种新型多层红外探测器及制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112563292B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011464304.5,技术领域涉及:H10F39/18;该发明授权一种新型多层红外探测器及制备方法是由康晓旭;陈寿面;钟晓兰设计研发完成,并于2020-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种新型多层红外探测器及制备方法在说明书摘要公布了:本发明属于半导体的技术领域,公开了一种新型多层红外探测器,包括设置在带读取电路的衬底上的多层阵列排布的像元集合,每个像元均包括含微桥桥面、梁结构、支撑及电连接孔在内的微桥谐振腔结构,相邻两层的像元集合中对应的高层像元与低层像元均相互错开排布,且高层像元中微桥桥面的投影面与低层像元中的梁结构、支撑及电连接孔、相邻像元的间隙的投影面重叠。本发明的多层红外探测器借助错开排布,使高层像元中微桥桥面将低层像元中微桥的梁结构、支撑及电连接孔、相邻像元的间隙覆盖,增加了对红外线的吸收面积,提高红外吸收效率,并在成本可控的前提下提升了产品性能。
本发明授权一种新型多层红外探测器及制备方法在权利要求书中公布了:1.一种新型多层红外探测器,其特征在于:包括设置在带读取电路的衬底上的多层阵列排布的像元集合,每个像元均包括含微桥桥面、梁结构、支撑及电连接孔在内的微桥谐振腔结构,相邻两层的像元集合中对应的高层像元与低层像元均相互错开排布,且高层像元中微桥桥面的投影面与低层像元中的梁结构、支撑及电连接孔、相邻像元的间隙的投影面重叠;每个所述低层像元的投影面与同所述低层像元位置相对应的上层相邻两行或两列的四个高层像元的投影面均部分重叠;每个所述低层像元的投影面中心点与同所述低层像元位置相对应的上层相邻两行或两列的四个高层像元的投影面组成的整体图像的中心点位于同一直线上。
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