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龙图腾网恭喜桂林理工大学申请的专利一种微秒级真空弧离子源能谱分析仪装置及使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112002629B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011015086.7，技术领域涉及：H01J49/24；该发明授权一种微秒级真空弧离子源能谱分析仪装置及使用方法是由罗先文设计研发完成，并于2020-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种微秒级真空弧离子源能谱分析仪装置及使用方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种微秒级真空弧离子源能谱分析仪装置，包括一个金属外壳，所述金属外壳的顶部有一顶部开口，底部有一开口朝向顶部的凹形底部固定筒，凹形底部固定筒的开口处设置有圆环状的压环；所述金属外壳的内部由顶部开口一侧向内依次设置有引出电极、栅网、收集极，以及将引出电极、栅网、收集极隔开并固定的多片绝缘限位板，所述多片绝缘限位板之间形成腔体。本分析仪装置采用了近于全金属外壳设计，能够最大限度屏蔽外部电磁场的影响，例如真空弧离子源放电时产生的脉冲高压电场有可能对等离子体的扩散、对离子流的测量产生影响，而本分析仪装置可尽量屏蔽外部电磁场，获得更加准确的测量结果。

本发明授权一种微秒级真空弧离子源能谱分析仪装置及使用方法在权利要求书中公布了：1.一种微秒级真空弧离子源能谱分析仪装置，其特征在于，包括一个金属外壳1，所述金属外壳1的顶部有一正方形开口10，底部有一开口朝向顶部的凹形底部固定筒7，凹形底部固定筒7的开口处设置有圆环状的压环6；所述金属外壳1的内部由顶部开口10一侧向内依次设置有引出电极2、三个栅网4、收集极9，以及将引出电极2、栅网4、收集极9隔开并固定的多片圆盘形绝缘限位板3，所述多片圆盘形绝缘限位板3之间形成腔体；所述正方形开口10用于放置真空弧离子源，测量时去除掉真空弧离子源的引出极，并放置引出电极2在正方形开口10区域；所述圆盘形绝缘限位板3中部与边缘部位形成阶梯状结构，形成一个相互嵌入的凸体凹体结构，在凸体凹体位置设置有三个栅网4、收集极9。

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