恭喜细美事有限公司朴珉贞获国家专利权
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龙图腾网恭喜细美事有限公司申请的专利用于处理基板的装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112071772B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010524616.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于处理基板的装置是由朴珉贞;徐庚进;郑煐宪设计研发完成，并于2020-06-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于处理基板的装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于处理基板的装置，其包括：具有内部空间的热处理腔室；壳体，其设置在所述内部空间中，所述壳体在其中具有处理空间；气体供应管线，其将疏水性气体供应至所述处理空间中，以疏水化所述基板；和分解单元，其分解从所述处理空间泄漏至所述内部空间的碱性气体。
本发明授权用于处理基板的装置在权利要求书中公布了：1.一种用于处理基板的装置，所述装置包括：热处理腔室，所述热处理腔室具有内部空间；壳体，所述壳体设置在所述内部空间中，所述壳体在其中具有处理空间；气体供应管线，所述气体供应管线被配置为将疏水性气体供应至所述处理空间中，以疏水化所述基板；和分解单元，所述分解单元被配置为分解从所述处理空间泄漏至所述内部空间的碱性气体；其中，所述分解单元包括光催化剂和照射构件，所述照射构件设置在所述热处理腔室的内壁上，且所述光催化剂设置在所述照射构件的一个表面上。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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