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恭喜杰宜斯科技有限公司李昇勋获国家专利权

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龙图腾网恭喜杰宜斯科技有限公司申请的专利蚀刻装置及其蚀刻方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113474875B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080016475.3,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权蚀刻装置及其蚀刻方法是由李昇勋;牟圣元;李羊浩;裵祯贤;朴成焕;赵显东设计研发完成,并于2020-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。

蚀刻装置及其蚀刻方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种蚀刻装置及其蚀刻方法,蚀刻装置包含:蚀刻液供应部,蚀刻液供应部向蚀刻腔室供应蚀刻液;冲洗液供应部,冲洗液供应部向蚀刻腔室供应冲洗液;清洗液供应部,清洗液供应部向蚀刻腔室供应清洗液;及第一加压维持部,第一加压维持部使蚀刻腔室与蚀刻液供应部中至少任意一个维持在加压环境。

本发明授权蚀刻装置及其蚀刻方法在权利要求书中公布了:1.一种蚀刻装置,其中,包含:一蚀刻液供应部,该蚀刻液供应部向一安放有对象体的蚀刻腔室供应蚀刻液;一冲洗液供应部,该冲洗液供应部向该蚀刻腔室供应冲洗液;一清洗液供应部,该清洗液供应部向该蚀刻腔室供应清洗液;及一第一加压维持部,该第一加压维持部使该蚀刻腔室与该蚀刻液供应部中至少任意一个维持在加压环境;及一供应管线部,该供应管线部连接该蚀刻液供应部与该蚀刻腔室,该蚀刻液供应部具备:一储存腔室,该储存腔室储存有该蚀刻液;及一温度维持部,该温度维持部使该储存腔室储存的该蚀刻液维持在预定温度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人杰宜斯科技有限公司,其通讯地址为:韩国京畿道;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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