恭喜杰宜斯科技有限公司李昇勋获国家专利权
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龙图腾网恭喜杰宜斯科技有限公司申请的专利蚀刻装置及其蚀刻方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113474875B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080016475.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权蚀刻装置及其蚀刻方法是由李昇勋;牟圣元;李羊浩;裵祯贤;朴成焕;赵显东设计研发完成，并于2020-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本蚀刻装置及其蚀刻方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种蚀刻装置及其蚀刻方法，蚀刻装置包含：蚀刻液供应部，蚀刻液供应部向蚀刻腔室供应蚀刻液；冲洗液供应部，冲洗液供应部向蚀刻腔室供应冲洗液；清洗液供应部，清洗液供应部向蚀刻腔室供应清洗液；及第一加压维持部，第一加压维持部使蚀刻腔室与蚀刻液供应部中至少任意一个维持在加压环境。
本发明授权蚀刻装置及其蚀刻方法在权利要求书中公布了：1.一种蚀刻装置，其中，包含：一蚀刻液供应部，该蚀刻液供应部向一安放有对象体的蚀刻腔室供应蚀刻液；一冲洗液供应部，该冲洗液供应部向该蚀刻腔室供应冲洗液；一清洗液供应部，该清洗液供应部向该蚀刻腔室供应清洗液；及一第一加压维持部，该第一加压维持部使该蚀刻腔室与该蚀刻液供应部中至少任意一个维持在加压环境；及一供应管线部，该供应管线部连接该蚀刻液供应部与该蚀刻腔室，该蚀刻液供应部具备：一储存腔室，该储存腔室储存有该蚀刻液；及一温度维持部，该温度维持部使该储存腔室储存的该蚀刻液维持在预定温度。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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