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龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利用于预测衬底图像的方法和设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113661447B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080026837.7，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权用于预测衬底图像的方法和设备是由斯科特·安德森·米德尔布鲁克斯;安卓尼斯·科内利斯·马修斯·科普曼;M·G·M·M·范卡拉埃吉;M·皮萨连科;斯蒂芬·亨斯克设计研发完成，并于2020-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于预测衬底图像的方法和设备在说明书摘要公布了：本文中描述了一种用于训练机器学习模型的方法，所述机器学习模型被配置成预测对应于如经由量测工具所测量的衬底的印制图案的衬底图像，所述方法包括：获得训练数据集合，所述训练数据集合包括i用于对所述衬底的所述印制图案进行测量的所述量测工具的量测数据，和ii用于将所述印制图案成像到所述衬底上的掩模图案；以及基于所述训练数据集合来训练机器学习模型，以预测如由所述量测工具所测量的所述衬底的所述衬底图像，使得成本函数被改善；其中所述成本函数包括预测衬底图像与所述量测数据之间的关系。

本发明授权用于预测衬底图像的方法和设备在权利要求书中公布了：1.一种用于训练机器学习模型的方法，包括：获得训练数据集合，所述训练数据集合包括（i）用于对衬底的印制图案进行测量的量测工具的量测数据，和（ii）用于将所述印制图案成像到所述衬底上的掩模图案的表示；以及基于所述训练数据集合来训练所述机器学习模型，所述机器学习模型能够操作以基于成本函数来预测如由所述量测工具所测量的所述衬底的衬底图像，其中所述衬底图像对应于如经由所述量测工具所测量的所述衬底的所述印制图案；其中由所述机器学习模型所产生的预测衬底图像包括分段式图像。

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