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龙图腾网恭喜宁波五维检测科技有限公司申请的专利一种线聚焦差动彩色共焦三维表面形貌测量系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111220090B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010220510.5，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权一种线聚焦差动彩色共焦三维表面形貌测量系统及方法是由易定容;蒋威;孔令华;叶一青;朱星星设计研发完成，并于2020-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种线聚焦差动彩色共焦三维表面形貌测量系统及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种线聚焦差动彩色共焦三维表面形貌测量方法，将不同波长的光聚焦于被测物表面，通过两个光谱相机接收被测物表面的反射光，得到两个同视场下沿狭窄照明线方向即X方向上每一点Xn光谱响应强度随高度Z变化的曲线；然后基于彩色共焦理论与差动三维检测原理融合得到被测物点在光轴方向高度Z，综合光轴方向高度Z与垂直光轴方向二维坐标信息重构被测物表面的三维形貌。本发明仅需一次成像即可完成对被测量物被照线区域内的高度信息提取，高度信息通过任意两光谱探测器光强差异计算获得，保证其超精密纳米精度测量；实现透明样品膜厚测量及普通样品三维形貌测量。

本发明授权一种线聚焦差动彩色共焦三维表面形貌测量系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种线聚焦差动彩色共焦三维表面形貌测量系统，其特征在于，包括：照明单元，所述照明单元包含一个复色光源，该复色光源产生复色光，复色光包括多个波长；所述照明单元通过光源线整形元件将复色光源配置成一维线阵光束；所述照明单元还通过色散元件将光源配置成不同波长光束具有不同焦深的色散光束；所述照明单元将光源配置得到一维线阵色散光束，一维线阵色散光束照射于被测物表面，任意光轴轴向高度Z处存在唯一波长值λ的线光束处于聚焦状态；测量空间，所述测量空间为可容纳被测样品的空间，被测样品被设置于一个可移动的载物台上并可以自由的在测量空间中移动；成像单元，该成像单元包含用于对从被测样品表面的反射光束进行聚焦的成像透镜组，还包含将聚集反射光等能量分成两束光的分光片，两个误差范围内完全等同的狭缝；所述的两个狭缝等距离放置在所述成像透镜组焦面前后，一个在焦面前，一个在焦面后；从样品表面反射的反射光先继通过所述聚焦成像透镜组、分光片分为两路，每路各自相继经过狭缝，之后分别进入探测器成像；来自样品表面的反射光束为包含一个或若干个波长值λm的光束，其波长值λ与被测样品表面沿光轴轴向高度Z相关，其中m∈1，2，…，M；探测器，所述探测器包含误差许可范围内两个完全等同的光谱相机，分别放置于所述成像单元两个成像光路的狭缝之后，每个所述光谱相机包含面阵黑白相机和一个色散原件；每个所述光谱相机接收成像单元收集的被测物返回线光束，该线光束与所述光谱相机的图像传感器第一维度X维度像素对齐，该X维度上坐标值与被测物表面一维坐标值一一对应；所述光谱相机通过横向色散元件将任意坐标Xn处光束配置为横向色散光束，所述横向色散光束的光谱波长值λ与光谱相机的图像传感器第二维度Y维度像素对齐，该Y维度坐标Ym与被测物返回光束光谱波长值λm一一对应，其中n∈1，2，…，N；处理单元，该处理单元与所述探测器相连，所述处理单元为任意具备图像信息处理能力的处理器，所述处理器用于处理所述探测器得到的图像，将推扫测量范围拼接成测量条带，将测量条带拼接成整个测量表面，得到被测样品表面三维信息；所述照明单元将光源配置得到一维线阵色散光束可采用狭缝、柱面透镜或特殊线阵光源；所述照明单元采用的色散元件为：折射式色散透镜、衍射式色散透镜、反射式色散镜、或它们的组合、或其它可将复色光源配置成不同波长光束具有不同焦深的方式调制得到色散光束。

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