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龙图腾网恭喜总督科技股份有限公司申请的专利晶圆载盘的置载装置及其置载方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113284832B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010102312.9，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权晶圆载盘的置载装置及其置载方法是由宋茂炎设计研发完成，并于2020-02-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆载盘的置载装置及其置载方法在说明书摘要公布了：晶圆载盘的置载装置和置载方法，第一、二机械臂活动范围内分别建置载盘、主校正机构、晶圆校正机构、供料机构，第一机械臂上设影像攫取组件及晶圆定位件装卸机构，第二机械臂上设晶圆取放机构，第一机械臂驱动影像攫取组件、晶圆定位件装卸机构移至主校正机构，分别校正其取像范围及作业位置，将影像攫取组件对应载盘其中一晶圆盘，由晶圆定位件装卸机构将晶圆盘上的晶圆定位件取下，第二机械臂驱动晶圆取放机构至主校正机构上，校正其作业位置，由供料机构取出晶圆，放置于晶圆校正机构，调整晶圆的缺口至正确角度，再将晶圆移至晶圆盘上，以影像攫取组件确认晶圆是否完整，再将晶圆定位件结合于晶圆盘上，压合于晶圆周缘形成定位。

本发明授权晶圆载盘的置载装置及其置载方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆载盘的置载装置，其特征在于，至少包括：一第一机械臂，连结并受一控制模块驱动，在该第一机械臂的活动端上至少设有一影像攫取组件；一第二机械臂，连结并受该控制模块驱动，在该第二机械臂的活动端上设有一晶圆取放机构；一载盘，设置于该第一、二机械臂的活动范围内，且连结并受该控制模块驱动，该载盘上设有至少一承置晶圆的晶圆盘；一主校正机构，设置于该第一、二机械臂的活动范围内，且连结并受该控制模块驱动，以供分别校正该影像攫取组件及晶圆取放机构的位置；一晶圆校正机构，设置于该第二机械臂的活动范围内，且连结并受该控制模块驱动，以供读取置入的晶圆的编码及调整该晶圆的缺口；一供料机构，设置于该第二机械臂的活动范围内，以供收容至少二待加工的晶圆。

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