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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利用于支持衬底制造系统的数据分析和机器学习的数据捕获与转换获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113454767B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080014714.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于支持衬底制造系统的数据分析和机器学习的数据捕获与转换是由黄忠河;文森特·王;保罗·罗纳德·巴林泰恩;亨利·陈;尼古拉斯·格林施格尔;约翰·A·詹森;查德·拉塞尔·威特曼;雷纳·温特古根博格设计研发完成，并于2020-02-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于支持衬底制造系统的数据分析和机器学习的数据捕获与转换在说明书摘要公布了：一种用于半导体制造的数据收集系统包含：T个衬底处理工具，其中T个衬底处理工具中的每一者包含：N个处理室，其中N个处理室中的每一者包含处理室控制器，处理室控制器被配置成在N个处理室中的相应处理室的操作期间接收多个不同类型的数据，其中多个不同类型的数据具有不同的格式，其中处理室控制器被进一步配置成将多个不同类型的数据格式化为经格式化的数据，并且其中T和N为整数；以及数据诊断服务计算机，其被配置成：接收经格式化的数据并将其按类别存储于共享文档中，共享文档具有表格式数据结构，表格式数据结构包含具有上下文数据的行；以及响应于请求，从共享文档中产生包含数据的子集的输出文档。

本发明授权用于支持衬底制造系统的数据分析和机器学习的数据捕获与转换在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体制造的数据收集系统，其包含：T个衬底处理工具，其中所述T个衬底处理工具中的每一者包含：N个处理室，其中所述N个处理室中的每一者包含处理室控制器，所述处理室控制器被配置成在所述N个处理室中的相应处理室的操作期间接收多个不同类型的数据，其中所述多个不同类型的数据具有不同的格式，其中所述处理室控制器被进一步配置成将所述多个不同类型的数据格式化为经格式化的数据，并且其中T和N为整数；以及数据诊断服务计算机，其被配置成：接收所述经格式化的数据并将其按类别存储于共享文档中，所述共享文档具有表格式数据结构，所述表格式数据结构包含具有上下文数据的行；以及响应于请求，从所述共享文档中产生包含所述数据的子集的输出文档。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。