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龙图腾网恭喜北京大学申请的专利一种片上微型电子源及制造方法、电子源系统、电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113140434B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010055354.1，技术领域涉及：H01J3/02；该发明授权一种片上微型电子源及制造方法、电子源系统、电子设备是由魏贤龙设计研发完成，并于2020-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种片上微型电子源及制造方法、电子源系统、电子设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种片上微型电子源及其制造方法、电子源系统、电子设备，其中片上微型电子源包括衬底，衬底上形成有驱动电极对，驱动电极对存在间隙，间隙中形成有电子隧穿结，驱动电极对可以用于驱动电子隧穿结发出电子束，在衬底上方可以固定聚焦电极，聚焦电极上形成有纵向贯穿聚焦电极的聚焦通道，用于在电子束通过时减小电子束的束斑尺寸。也就是说，本申请实施例中，可以通过驱动电极驱动电子隧穿结发出电子束，电子隧穿结无需穿过多个材料层，具有更高的发射效率，通过聚焦电极可以对电子束进行聚集，从而减小电子束的束斑尺寸，这样可以得到发射电流较大，且束斑尺寸较小的电子束。

本发明授权一种片上微型电子源及制造方法、电子源系统、电子设备在权利要求书中公布了：1.一种片上微型电子源，其特征在于，包括：衬底；所述衬底上的驱动电极对；所述驱动电极对存在间隙，所述间隙中形成有电子隧穿结；所述驱动电极对用于驱动所述电子隧穿结发出电子束；所述衬底上方固定的聚焦电极，所述聚焦电极上形成有纵向贯穿所述聚焦电极的聚焦通道，用于在所述电子束通过时减小所述电子束的束斑尺寸；所述聚焦电极和所述衬底之间形成有第一支撑部件；所述第一支撑部件为位于所述聚焦电极的外侧的侧墙，所述聚焦电极和所述驱动电极具有导电端延伸至所述第一支撑部件的外侧；所述衬底和所述聚焦电极之间固定的引出电极，用于为所述电子束提供电子加速电场；所述引出电极上形成有纵向贯穿所述引出电极的引出通道；所述引出电极和所述衬底之间形成有第二支撑部件；所述第二支撑部件为位于所述引出电极外侧的侧墙，所述引出电极和所述驱动电极具有导电端延伸至所述第二支撑部件的外侧；所述聚焦电极为多个，多个所述聚焦电极竖直排布，所述引出电极位于所述聚焦电极和所述电子隧穿结之间，所述引出电极和多个所述聚焦电极构成台阶结构；上一层聚焦电极的面积小于下一层聚焦电极的面积，以利用所述聚焦电极的暴露出的台阶面为所述聚焦电极施加电压，所述引出电极的面积大于所述聚焦电极的面积，利用所述引出电极的暴露出的台阶面为所述引出电极施加电压。

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