恭喜ASML荷兰有限公司G·O·瓦申科获国家专利权
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龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利目标递送系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113303032B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080009683.0，技术领域涉及：H05G2/00；该发明授权目标递送系统是由G·O·瓦申科;B·罗林格设计研发完成，并于2020-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本目标递送系统在说明书摘要公布了：公开了一种用于极紫外EUV光源的目标递送系统。该系统包括导管，该导管包括孔，该孔被配置为流体耦合到贮存器；致动器，该致动器被配置为机械耦合到导管，使得致动器的运动被传递到导管；以及控制系统，该控制系统耦合到致动器，该控制系统被配置为：确定施加到贮存器中的目标材料的压力的指示，以及基于所确定的所施加的压力的指示来控制致动器的运动。而且，公开了操作供应系统的技术。例如，确定供应系统的一个或多个特性，并且基于一个或多个确定的特性来控制机械耦合到供应系统的致动器，使得供应系统的孔在操作使用期间保持基本没有材料损坏。
本发明授权目标递送系统在权利要求书中公布了：1.一种用于极紫外EUV光源的目标递送系统，所述系统包括：导管，包括孔，所述孔被配置为流体耦合到贮存器；致动器，被配置为机械耦合到所述导管，使得所述致动器的运动被传递到所述导管；以及控制系统，耦合到所述致动器，所述控制系统被配置为：确定施加到所述贮存器中的目标材料的压力的指示，以及基于所确定的所施加的压力的指示与阈值的比较来控制所述致动器的所述运动，其中所述阈值与所述导管内部的声波的幅度有关。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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