恭喜ASML荷兰有限公司M·皮萨伦科获国家专利权
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龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利基于从电子束图像所提取的三维信息的隐藏缺陷检测和EPE估计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112384856B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980046251.4，技术领域涉及：G03F1/84；该发明授权基于从电子束图像所提取的三维信息的隐藏缺陷检测和EPE估计是由M·皮萨伦科;S·A·米德尔布鲁克;M·G·M·M·范克莱杰;A·C·M·库普曼设计研发完成，并于2019-06-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于从电子束图像所提取的三维信息的隐藏缺陷检测和EPE估计在说明书摘要公布了：一种用于确定印制图案中缺陷的存在的方法包括：获取a来自图像捕获装置的印制图案的捕获图像，以及b由过程模型所生成的印制图案的模拟图像。方法还包括生成作为捕获图像和模拟图像的部分的加权组合的组合图像。而且，方法包括基于组合图像确定印制图案中是否存在缺陷。
本发明授权基于从电子束图像所提取的三维信息的隐藏缺陷检测和EPE估计在权利要求书中公布了：1.一种用于确定印制图案中缺陷的存在的方法，所述方法包括：获取a来自图像捕获装置的印制图案的捕获图像、以及b由过程模型所生成的所述印制图案的模拟图像；生成作为所述捕获图像和所述模拟图像的部分的加权组合的组合图像，其中所述加权组合基于a所述捕获图像中的噪声水平和或b所述模拟图像中的误差水平；以及基于所述组合图像确定所述印制图案中是否存在缺陷。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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