恭喜应用材料公司哈里·庞内坎蒂获国家专利权
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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利成对的动态平行板电容耦合等离子体获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112292755B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980039180.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权成对的动态平行板电容耦合等离子体是由哈里·庞内坎蒂;田中努;曼德亚姆·斯里拉姆;德米特里·季利诺;桑吉夫·巴鲁贾;马里奥·D·西尔韦蒂设计研发完成，并于2019-06-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本成对的动态平行板电容耦合等离子体在说明书摘要公布了：描述了具有多个处理站和各个晶片支撑表面的处理腔室。处理站和晶片支撑表面布置成使得存在相等数量的处理站和加热器。RF发生器连接到第一站中的第一电极和第二站中的第二电极。底部RF路径经由第一支撑表面和第二支撑表面之间的连接件形成。
本发明授权成对的动态平行板电容耦合等离子体在权利要求书中公布了：1.一种处理腔室，包含：至少两个等离子体站；晶片基座，具有多个支撑表面，以支撑各个晶片以进行处理；射频源，连接到第一等离子体处理站中的第一电极和第二等离子体处理站中的第二电极，以形成顶部射频路径；及连接件，在所述第一等离子体处理站的第一支撑表面与所述第二等离子体处理站的第二支撑表面之间，以形成底部射频路径，其中电流在一个方向上从所述射频源流到所述第一电极，到所述第一支撑表面，通过在所述第一支撑表面与所述第二支撑表面之间的所述连接件，到所述第二支撑表面，到所述第二电极，并然后回到所述射频源。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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