恭喜挪威西部创新股份有限公司胡斯塔斯·扎列卡斯获国家专利权
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龙图腾网恭喜挪威西部创新股份有限公司申请的专利大面积微波等离子体化学气相沉积反应器设备和在反应器室内提供大面积微波等离子体化学气相沉积的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112088419B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980029395.9，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权大面积微波等离子体化学气相沉积反应器设备和在反应器室内提供大面积微波等离子体化学气相沉积的方法是由胡斯塔斯·扎列卡斯设计研发完成，并于2019-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本大面积微波等离子体化学气相沉积反应器设备和在反应器室内提供大面积微波等离子体化学气相沉积的方法在说明书摘要公布了：一种大面积微波等离子体化学气相沉积反应器设备和用于大面积微波化学气相沉积的方法，包括反应器室和复合右左手波导部段，该反应器室适于通过第一频率的电磁能在反应器室的内部中提供等离子体区域，该复合右左手波导部段适于在无限波长下以第一频率工作并在壁中具有耦合器装置，该耦合器装置布置成将电磁能从复合右左手波导部段的内部耦合至反应器室的内部。
本发明授权大面积微波等离子体化学气相沉积反应器设备和在反应器室内提供大面积微波等离子体化学气相沉积的方法在权利要求书中公布了：1.一种大面积微波等离子体化学气相沉积反应器设备，所述反应器设备包括：反应器室，所述反应器室适于通过第一频率的电磁能在所述反应器室的内部中提供等离子体区域；以及复合右左手波导部段，所述复合右左手波导部段适于在无限波长下以所述第一频率工作，并且所述复合右左手波导部段在壁中具有耦合器装置，所述耦合器装置布置成将电磁能从所述复合右左手波导部段的内部耦合至所述反应器室的内部。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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