买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利用于监测和控制液滴生成器性能的装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111919516B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980022585.8，技术领域涉及：H05G2/00；该发明授权用于监测和控制液滴生成器性能的装置和方法是由T·W·德赖森;A·I·厄肖夫;B·罗林格;G·O·瓦申科;K·G·温克尔斯;D·U·H·特雷斯设计研发完成，并于2019-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于监测和控制液滴生成器性能的装置和方法在说明书摘要公布了：一种控制用于生成EUV辐射的液滴的形成的装置和方法，该装置和方法包括产生被引导至照射区域的激光束和液滴源的布置。液滴源包括离开喷嘴的流体和具有可电致动元件的子系统，该可电致动元件在流体中产生扰动。液滴源产生束流，该束流分裂成液滴，当液滴朝向照射区域行进时，这些液滴又聚结成较大液滴。通过在束流中的液滴尚未完全聚结的点处观察束流来控制该过程。

本发明授权用于监测和控制液滴生成器性能的装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种装置，包括：目标材料分配器，被布置为通过喷嘴出口向真空腔室中的照射部位提供目标材料束流；可电致动元件，机械耦接到所述目标材料分配器并且被布置为基于液滴控制信号来在所述束流中引起速度扰动；检测器，被布置为在所述束流中的液滴尚未完全聚结的点处且在距离所述喷嘴出口0.5厘米至5厘米之间的位置处观察所述束流中的所述液滴并且生成液滴检测信号；控制器，被布置为接收所述液滴检测信号并且至少部分基于所述液滴检测信号来生成波形生成器控制信号；以及波形生成器，电耦合到所述可电致动元件和所述控制器，用于至少部分基于所述波形生成器控制信号来供应所述液滴控制信号。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。