恭喜株式会社斯库林集团邓宝铃获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理方法及衬底处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111602230B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201880085719.6，技术领域涉及：H01L21/304；该发明授权衬底处理方法及衬底处理装置是由邓宝铃;小林健司;藤井定;日野出大辉设计研发完成，并于2018-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理方法及衬底处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供能够改善图案倒塌及颗粒问题的衬底处理方法及衬底处理装置。衬底处理方法包括下述工序：表面改性工序，针对在表面具有氧化物的衬底的表面，实施将该表面的粗糙加以改善的改性；表面清洗工序，向上述衬底的经改性的上述表面供给处理液，通过该处理液对衬底的表面进行清洗；和疏水化工序，向上述衬底的经清洗的上述表面供给疏水化剂，将上述衬底的表面疏水化。
本发明授权衬底处理方法及衬底处理装置在权利要求书中公布了：1.衬底处理方法，其包括下述工序：表面改性工序，针对在表面具有氧化物的衬底的表面，实施将该表面的粗糙加以改善的改性；表面清洗工序，向所述衬底的经改性的所述表面供给处理液，通过该处理液对衬底的表面进行清洗；和疏水化工序，向所述衬底的经清洗的所述表面供给疏水化剂，将所述衬底的表面疏水化，其中，所述表面改性工序包括对所述衬底进行加热而将所述表面改性的加热改性工序，所述加热改性工序包括通过加热使所述衬底表面的由氧化物引起的凹凸减少的平坦化工序。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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