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龙图腾网恭喜沈阳芯达半导体设备有限公司申请的专利一种腐蚀液体输送用风囊泵获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119321395B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411866291.2，技术领域涉及：F04B9/133；该发明授权一种腐蚀液体输送用风囊泵是由魏猛;李冬海;张爽设计研发完成，并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种腐蚀液体输送用风囊泵在说明书摘要公布了：本发明公开了一种腐蚀液体输送用风囊泵，涉及风囊泵技术领域。该种腐蚀液体输送用风囊泵，包括设置在风囊泵本体上的泵体、阀板、中心轴、两个风囊、抽液管以及排液管，两个所述风囊和阀板之间形成两个工作腔，所述抽液管的侧壁固定连接有进液管，所述排液管的侧壁设置有出液管，且阀板的两侧设置有凹槽，还包括：安装腔，开设于所述阀板内；两组检测机构，设置于所述安装腔靠近凹槽的侧壁，用于检测两个工作腔的密封性。该种腐蚀液体输送用风囊泵，在进行抽液时，能够对左腔室或者右腔室的密封性进行检测，在发生泄露时及时发现，保证正常运行的同时，更加安全可靠；便于对腐蚀液体中的杂质进行过滤和收集，保证产品的生产质量。

本发明授权一种腐蚀液体输送用风囊泵在权利要求书中公布了：1.一种腐蚀液体输送用风囊泵，包括设置在风囊泵本体上的泵体（101）、阀板（104）、中心轴（103）、两个风囊（102）、抽液管（106）以及排液管（107），两个所述风囊（102）和阀板（104）之间形成左腔室和右腔室，所述抽液管（106）的侧壁固定连接有进液管（109），所述排液管（107）的侧壁设置有出液管（110），且阀板（104）的两侧设置有凹槽（105），其特征在于：还包括：安装腔（11），开设于所述阀板（104）内；两组检测机构，设置于所述安装腔（11）靠近凹槽（105）的侧壁，用于检测两个工作腔的密封性；各组所述检测机构包括：通孔（1201），开设于所述凹槽（105）的侧壁且贯穿至所述安装腔（11）内；导套（1206），固定插设于所述通孔（1201）内，且导套（1206）内滑动连接有活塞（1202）；第一复位机构，设置于所述安装腔（11）内，且第一复位机构上连接有移动板（1204），用于对移动板（1204）的移动进行导向与复位，所述活塞（1202）通过连接杆（1203）固定于移动板（1204）的侧壁；收集槽（1207），设置于所述中心轴（103）的下方且与安装腔（11）的侧壁固定，所述收集槽（1207）内设置有液位传感器（1208）；收集管（1205），固定插设于所述泵体（101）的底部且通过电磁阀（1209）与所述收集槽（1207）的底部连通；启闭机构，设置于所述进液管（109）的侧壁，用于对进液管（109）进行开启与关闭；检测组件，设置于所述安装腔（11）内，用于对移动板（1204）的移动进行检测；所述检测组件包括：第一移动机构，设置于所述安装腔（11）内，且第一移动机构上连接有第一移动块（201），用于对第一移动块（201）的移动进行升降移动，所述第一移动块（201）的底部固定连接有接近开关（202），当中心轴（103）进行移动时，能够通过第一移动机构带动接近开关（202）向下移动；支撑板（203），固定于所述安装腔（11）的侧壁；转动板（208），通过转动销（204）转动于所述支撑板（203）的上方，且转动板（208）的顶部固定连接有感应块（205），使感应块（205）能够处于接近开关（202）的正下方；滑动槽（206），开设于所述转动板（208）的顶部且贯穿设置；第一推动杆（207），插设于所述滑动槽（206）内且与移动板（1204）的顶部固定。

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