恭喜南京理工大学;北京林业大学张晶获国家专利权
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龙图腾网恭喜南京理工大学;北京林业大学申请的专利一种基于环形谐振器的频率调制MEMS加速度计获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119291230B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411827980.2,技术领域涉及:G01P15/097;该发明授权一种基于环形谐振器的频率调制MEMS加速度计是由张晶;林灿;林晨;苏岩设计研发完成,并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于环形谐振器的频率调制MEMS加速度计在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于环形谐振器的频率调制MEMS加速度计,包括两个中心对称的谐振器Ⅰ和谐振器Ⅱ,谐振器Ⅰ和谐振器Ⅱ左右对称连接于质量块上,谐振器Ⅰ和谐振器Ⅱ均包括位于中间的环形结构,中间的环形结构通过四组第一解耦梁与位于环形结构中间的中心锚点连接,中心锚点固定于衬底上,环形结构左右侧分别连接有一个驱动检测电极、前后侧分别连接有一个静电调谐电极,所述驱动检测电极和静电调谐电极均是变面积梳齿电极,每个静电调谐电极的左右两侧分别与左右侧的位移平衡杠杆的前后端处连接,每个位移平衡杠杆的前后端处分别通过第二解耦梁与前后侧的L型梁连接。本发明有利于自激振荡准确捕捉谐振器的固有频率、提升控制精度。
本发明授权一种基于环形谐振器的频率调制MEMS加速度计在权利要求书中公布了:1.一种基于环形谐振器的频率调制MEMS加速度计,其特征在于,包括两个中心对称的谐振器Ⅰ(1)和谐振器Ⅱ(2),谐振器Ⅰ(1)和谐振器Ⅱ(2)左右对称连接于质量块(11)上,谐振器Ⅰ(1)和谐振器Ⅱ(2)均包括位于中间的环形结构(3),中间的环形结构(3)通过四组第一解耦梁(6)与位于环形结构(3)中间的中心锚点(5)连接,中心锚点(5)固定于衬底上,环形结构(3)左右侧分别连接有一个驱动检测电极(4)、前后侧分别连接有一个静电调谐电极(7),所述驱动检测电极(4)和静电调谐电极(7)均是变面积梳齿电极,每个静电调谐电极(7)的左右两侧分别与左右侧的位移平衡杠杆(9)的前后端处连接,每个位移平衡杠杆(9)的前后端处分别通过第二解耦梁(14)与前后侧的L型梁(10)连接。
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