恭喜浙江中科尚弘离子装备工程有限公司彭强祥获国家专利权
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龙图腾网恭喜浙江中科尚弘离子装备工程有限公司申请的专利用于离子注入机的引出抑制机构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119275080B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411803769.7,技术领域涉及:H01J37/317;该发明授权用于离子注入机的引出抑制机构是由彭强祥;龚树智;刘仁杰;刘青隆设计研发完成,并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于离子注入机的引出抑制机构在说明书摘要公布了:本发明公开了用于离子注入机的引出抑制机构,包括主支架;X轴传动单元,X轴传动单元与抑制极单元连接;Y轴传动单元,Y轴传动单元的驱动端与X轴传动单元连接,Y轴传动单元用于驱动X轴传动单元沿着Y轴向移动;Z轴传动单元,Z轴传动单元的驱动端与X轴传动单元连接,Z轴传动单元用于驱动X轴传动单元沿着Z轴向移动;偏转轴传动单元,偏转轴传动单元设置在主支架上,偏转轴传动单元的驱动端与X轴传动单元连接,偏转轴传动单元用于驱动X轴传动单元偏转。本发明通过在现有的三轴传动机构上增加偏转轴传动单元,实现了对离子束的三维空间精确控制,这种高精度控制确保了离子束能够准确地到达目标位置。
本发明授权用于离子注入机的引出抑制机构在权利要求书中公布了:1.用于离子注入机的引出抑制机构,包括主支架,主支架用于提供支撑和安装空间,其特征在于,还包括,X轴传动单元,X轴传动单元设置在主支架上,X轴传动单元与抑制极单元连接;Y轴传动单元,Y轴传动单元设置在主支架上,Y轴传动单元的驱动端与X轴传动单元连接,Y轴传动单元用于驱动X轴传动单元沿着Y轴向移动;Z轴传动单元,Z轴传动单元设置在主支架上,Z轴传动单元用于驱动X轴传动单元沿着Z轴向移动;偏转轴传动单元,偏转轴传动单元设置在主支架上,偏转轴传动单元的驱动端与X轴传动单元连接,偏转轴传动单元用于驱动X轴传动单元偏转,偏转轴传动单元包括偏转支架,偏转支架上设置有偏转联轴器;偏转轴承座,偏转轴承座上用于提供支撑和安装空间,偏转轴承座内设置有传动轴三,传动轴三上套设有传动齿轮五;偏转丝杆,偏转丝杆的第一端通过偏转联轴器与Y向连动板连接,偏转丝杆的第二端安装在偏转轴承座上;驱动电机三,驱动电机三安装在偏转轴承座上,驱动电机三的输出端上安装有传动齿轮六,传动齿轮六与传动齿轮五啮合,驱动电机三通过传动齿轮三、传动齿轮三将驱动力传递至传动轴三,并带动偏转丝杆转动;主支架包括支撑板,支撑板上具有安装空间;抑制电极一,抑制电极一设置在支撑板上,抑制电极一用于抑制离子注入机的电流束,防止电流束发散;支柱,支柱的第一端与支撑板连接,支柱的第二端上套设有主轴滑架板,主轴滑架板能沿着主轴的轴向移动,主轴滑架板用于为X轴传动单元提供安装空间,X轴传动单元的第一端穿设在主轴滑架板上;突出法兰,突出法兰通过设置在支撑板上,突出法兰上开设有用于供X轴传动单元端部穿过的通孔,X轴传动单元的另一端穿过通孔与抑制极单元连接;Y向限位板,Y向限位板安装在主轴滑架板上,Y向限位板用于对主轴滑架板起到限位作用,Y轴传动单元通过Y向限位板设置在主支架上,Y轴传动单元通过Y向限位板带动主轴滑架板移动,并带动设置在主轴滑架板上的X轴传动单元同步移动;Z轴传动单元通过Y向限位板设置在主支架上,Z轴传动单元的驱动端通过Y向限位板驱动X轴传动单元沿着Z轴向移动;航空插头,航空插头集成设置在支撑板上,航空插座用于提供电源接口。
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