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恭喜季华实验室安丽获国家专利权

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龙图腾网恭喜季华实验室申请的专利远程等离子源变截面石英管结构优化设计方法及相关设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119293887B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411800778.0,技术领域涉及:G06F30/10;该发明授权远程等离子源变截面石英管结构优化设计方法及相关设备是由安丽;黄星星;杨振怀;胡琅;胡强设计研发完成,并于2024-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。

远程等离子源变截面石英管结构优化设计方法及相关设备在说明书摘要公布了:本申请属于等离子源技术领域,公开了一种远程等离子源变截面石英管结构优化设计方法及相关设备,通过对微波远程等离子源进行二维建模、网格划分、设置材料参数和物理场、仿真模拟以及优化求解,实现了对石英管内表面形状的精确优化设计,解决了传统圆柱形石英管无法精细调控等离子体流动和分布的问题,具有提高电子密度分布均匀性、提高等离子体出口通量和提高功率利用率的优点;而且通过仿真分析进行优化设计,与采用实物试验的方式相比设计周期更短、设计成本更低。

本发明授权远程等离子源变截面石英管结构优化设计方法及相关设备在权利要求书中公布了:1.一种远程等离子源变截面石英管结构优化设计方法,用于对微波远程等离子源的石英管进行优化设计,所述微波远程等离子源包括谐振腔和穿过所述谐振腔的石英管,所述谐振腔的内腔为长方体状,所述谐振腔用于从下端馈入微波以把所述石英管内的工作气体电离成离子体;其特征在于,所述远程等离子源变截面石英管结构优化设计方法包括步骤:A1.对微波远程等离子源进行二维建模,得到二维模型;在所述二维模型中,石英管的内表面用具有控制点的插值曲线进行描述;A2.对所述二维模型进行网格划分;A3.设置所述二维模型的材料参数;A4.设置所述二维模型的物理场;所述物理场包括对应于石英管内部区域的流场,对应于谐振腔的内腔、石英管管壁和石英管内部区域的电磁场,以及对应于石英管内部区域的等离子体场;A5.配置稳态求解器,以对流场进行仿真模拟,以及配置频域-瞬态求解器,以对电磁场和等离子体场进行仿真模拟;A6.在仿真模拟结果的基础上,配置优化求解器,设置优化目标和约束条件,计算求得所述控制点的最优坐标,得到最优插值曲线,完成对石英管内表面形状的优化;所述二维模型包括两个对应于石英管管壁的管壁区、位于两个管壁区之间的电离区以及两个对应于谐振腔的内腔的波导区,两个所述波导区分别位于两个管壁区相背的一侧;所述控制点设置有四个,分别为第一控制点、第二控制点、第三控制点和第四控制点;所述第一控制点和所述第四控制点分别为所述插值曲线的两个端点,且所述第一控制点和所述第四控制点的坐标位置固定;所述第二控制点和所述第三控制点位于所述第一控制点和所述第四控制点之间,且所述第二控制点和所述第三控制点的坐标为待优化参数;步骤A4包括:设置所述流场:流场区域选为所述电离区,设置所述流场的物理模型类型、马赫数和参考压力水平,设置所述流场的流体密度和动力粘度来源,以及设置所述流场的侧壁类型、入口法向流速和出口边界条件;设置所述电磁场:电磁场区域选为整个二维模型,设置所述电磁场的模型输入频率来源,设置所述电磁场的入口的端口类型、输入功率和微波谐振模式,以及设置所述电磁场的其余边界为理想电导体;设置所述等离子体场:等离子体场区域选为所述电离区,设置所述等离子体场的传递方式和模型输入速度类型,并根据工作气体在电离过程中发生的域反应和边界反应以及反应涉及的物质在所述等离子体场添加反应式,以及在所述等离子体场的出口处设置电子出口和物质流出边界条件。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人季华实验室,其通讯地址为:528200 广东省佛山市南海区桂城街道环岛南路28号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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