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龙图腾网恭喜安徽华中半导体材料有限公司申请的专利一种磷烷气体提纯装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119258723B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411783927.7，技术领域涉及：B01D53/08；该发明授权一种磷烷气体提纯装置是由石刻山;董翠平;文瞳媛;忻俊杰;郭立维设计研发完成，并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种磷烷气体提纯装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种磷烷气体提纯装置，具体涉及磷烷气体提纯设备，包括设置于壳体内的组合提纯筛，所述组合提纯筛包括：活动支撑件，其包括底座和沿所述底座竖直滑动的滑套；移动过滤仓，其呈线性阵列滑动连接于所述滑套上，多个移动过滤仓内分别盛放有不同规格的分子筛。该发明将不同规格的分子筛分别放置于多个移动过滤仓内，在进行使用时，由多个移动过滤仓相互贴合形成磷烷气体的移动通道，对磷烷气体内的不同杂质进行分离，而在需要进行更换分子筛时，只需取出整个组合提纯筛，进行整体更换，不需要挨个对移动过滤仓内的分子筛进行取出，在分子筛的再生步骤中，驱使滑套移动，以将移动过滤仓相互远离的同时开放顶部，以便于加热再生分子筛。

本发明授权一种磷烷气体提纯装置在权利要求书中公布了：1.一种磷烷气体提纯装置，其特征在于，包括设置于壳体内的组合提纯筛（1），所述组合提纯筛（1）包括：活动支撑件（11），其包括底座和沿所述底座竖直滑动的滑套（13）；移动过滤仓（3），其呈线性阵列滑动连接于所述滑套（13）上，多个移动过滤仓（3）内分别盛放有不同规格的分子筛，所述移动过滤仓（3）于以下两个工位切换：第一工位：所述移动过滤仓（3）随所述滑套（13）靠近所述底座移动，与相邻的所述移动过滤仓（3）相互贴合连通；第二工位：所述移动过滤仓（3）随所述滑套（13）远离所述底座移动，与相邻的所述移动过滤仓（3）相互远离，并开放顶部；所述移动过滤仓（3）包括相互滑动的外滑罩（31）和内滑罩（32），所述外滑罩（31）上设置有顶覆板（311），所述外滑罩（31）和内滑罩（32）随所述移动过滤仓（3）从所述第一工位切换到所述第二工位时而远离，以使所述顶覆板（311）开放所述内滑罩（32）顶部。

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