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龙图腾网恭喜季华实验室申请的专利一种用于外延设备的温度补偿系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119265699B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411789664.0，技术领域涉及：C30B25/16；该发明授权一种用于外延设备的温度补偿系统及方法是由高桑田;仇礼钦;唐卓睿;王鑫设计研发完成，并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于外延设备的温度补偿系统及方法在说明书摘要公布了：本申请涉及外延设备技术领域，具体提供了一种用于外延设备的温度补偿系统及方法，该系统包括：第一温度采集组件；第二温度采集组件；压力采集组件；流量采集组件；控制器，用于根据组分气体类型信息和预设转换关系获取各条进气通道的组分气体的自由系数信息，还用于根据进气压力信息、进气流量信息和进气温度信息获取各条进气通道的组分气体的单位时间气体摩尔数信息，还用于根据反应室温度信息、进气温度信息、所有自由系数信息和所有单位时间气体摩尔数信息计算热量总缺口，然后基于热量总缺口调节加热组件的功率；该系统能够有效地避免出现由于通入反应室的工艺气体会带走外延片的热量而导致外延片的温度发生波动或难以达到目标温度的情况。

本发明授权一种用于外延设备的温度补偿系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种用于外延设备的温度补偿系统，其特征在于，所述外延设备包括反应室、加热组件和多条进气通道，不同的进气通道用于输送不同的组分气体，所述用于外延设备的温度补偿系统包括：第一温度采集组件，用于采集反应室温度信息；每条进气通道上均设有第二温度采集组件、压力采集组件和流量采集组件，所述第二温度采集组件用于采集其所在的进气通道中的组分气体的进气温度信息，所述压力采集组件用于采集其所在的进气通道中的组分气体的进气压力信息，所述流量采集组件用于采集其所在的进气通道中的组分气体的进气流量信息；控制器，用于获取各条所述进气通道对应的组分气体类型信息，并根据所述组分气体类型信息和预设转换关系获取各条所述进气通道中的组分气体的自由系数信息，所述预设转换关系为关于气体类型和自由系数信息的映射关系表，所述气体类型包括单原子气体、双原子气体和多原子气体，所述单原子气体对应的自由系数信息为3，所述双原子气体对应的自由系数信息为5，所述多原子气体对应的自由系数信息为6，还用于根据所述进气压力信息、所述进气流量信息和所述进气温度信息获取各条所述进气通道中的组分气体的单位时间气体摩尔数信息，还用于根据所述反应室温度信息、所述进气温度信息、所有所述自由系数信息和所有所述单位时间气体摩尔数信息计算热量总缺口，然后基于所述热量总缺口调节所述加热组件的功率；所述单位时间气体摩尔数信息的计算公式如下式所示： ；其中，ni表示第i条进气通道中的组分气体的单位时间气体摩尔数信息，Pi表示第i条进气通道中的组分气体的进气压力信息，qi表示第i条进气通道中的组分气体的进气流量信息，R表示理想气体常数，T进i表示第i条进气通道中的组分气体的进气温度信息；所述热量总缺口的计算公式如下式所示： ；其中，Q总表示热量总缺口，m表示进气通道的总数量，Qi表示第i条进气通道中的组分气体的热量缺口；第i条进气通道中的组分气体的热量缺口的计算公式如下式所示： ；ni表示第i条进气通道中的组分气体的单位时间气体摩尔数信息，fi表示第i条进气通道中的组分气体的自由系数信息，R表示理想气体常数，T反表示反应室温度信息，T进i表示第i条进气通道中的组分气体的进气温度信息。

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