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龙图腾网恭喜浙江大学申请的专利一种基于超表面微透镜阵列的高精度位移测量系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119223174B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411750351.4，技术领域涉及：G01B11/02；该发明授权一种基于超表面微透镜阵列的高精度位移测量系统是由马云贵;邵逸凡设计研发完成，并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于超表面微透镜阵列的高精度位移测量系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种基于超表面微透镜阵列的高精度位移测量系统，属于微纳光学及高精度测量装备领域。该系统包括两片平行放置的超表面微透镜阵列、一个准直激光光源、一个凸透镜和一个图像传感器。两片超表面微透镜阵列的间距为两者焦距之和，相当于闪耀角随两片超表面微透镜之间的相对位移而改变的的闪耀光栅；该闪耀光栅的闪耀角两侧相邻衍射级次的强度对相对位移高度敏感，凸透镜将出射阵列光束的远场衍射角谱投影至图像传感器，通过图像传感器探测闪耀角两侧相邻衍射级次的强度之差，即可得到两片超表面微透镜阵列之间的相对位移。本发明为高灵敏度、快速且无需复杂后处理算法的位移传感技术，应用前景广泛。

本发明授权一种基于超表面微透镜阵列的高精度位移测量系统在权利要求书中公布了：1.一种基于超表面微透镜阵列的高精度位移测量系统，其特征在于，包括第一超表面微透镜阵列和第二超表面微透镜阵列；第一超表面微透镜阵列和第二超表面微透镜阵列相互平行，间距为两者焦距之和，组成闪耀光栅；第一超表面微透镜阵列和第二超表面微透镜阵列分别固定在两个待测物体上，两个待测物体之间的相对位移方向与超表面微透镜阵列的光轴垂直；所述第一超表面微透镜阵列用于把入射光分为多个光束并分别聚焦后再发散，形成出射阵列光束，所述第二超表面微透镜阵列用于将第一超表面微透镜阵列的出射阵列光束进行准直，在两个待测物体之间存在相对位移时，第二超表面微透镜阵列的出射光束与光轴成一定偏转角度，该偏转角度即闪耀角，闪耀角大小随相对位移的大小而变化；所述第一超表面微透镜阵列包括周期排布的多个相同的第一超表面微透镜，所述第一超表面微透镜由第一透明基底和第一透明基底一侧表面的若干亚波长介质柱状结构组成；第一超表面微透镜阵列的亚波长介质柱状结构均位于其出射面；所述第二超表面微透镜阵列包括周期排布的多个相同的第二超表面微透镜，所述第二超表面微透镜由第二透明基底和第二透明基底两侧表面的若干亚波长介质柱状结构组成；所述第二透明基底第一面上的若干亚波长介质柱状结构用于对第一超表面微透镜阵列的出射阵列光束进行准直，所述第二透明基底第二面上的若干亚波长介质柱状结构用于对阵列光束进一步准直并消除杂散光；各超表面微透镜阵列中所有超表面微透镜的透明基底一体成形；所述第一超表面微透镜和第二超表面微透镜的数量、形状和排列方式一致；每个超表面微透镜中各亚波长介质柱状结构的高度相同、尺寸参数不同。

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