恭喜深圳市铨天科技有限公司黄少娃获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳市铨天科技有限公司申请的专利一种半导体晶圆的夹持抓取装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119252796B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411718139.X,技术领域涉及:H01L21/687;该发明授权一种半导体晶圆的夹持抓取装置是由黄少娃;黄旭彪;翁友民;罗晓东;黄庭鑫设计研发完成,并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体晶圆的夹持抓取装置在说明书摘要公布了:本发明涉及夹持装置技术领域,且公开了一种半导体晶圆的夹持抓取装置,包括U形托板,U形托板的外表面滑动连接有导向组件,导向组件的一侧固定连接有一号斜板,一号斜板的一端转动连接有定位轮组件,导向组件的上表面固定连接有L形板,L形板的外表面固定连接有气缸,U形托板的前端转动连接有二号斜板。本发明通过设置定位轮组件,当与晶圆外周边缘接触时,环形气囊能依据晶圆边缘形状及表面情况自适应变形,避免刚性接触造成划伤、压痕等损伤,使得整个定位轮组件可对晶圆外周边缘形成柔性夹持,并且在夹持过程中,通过套筒、活塞等部件的配合,能对气缸输出的瞬时动力缓冲,进一步避免晶圆硬性接触定位轮组件。
本发明授权一种半导体晶圆的夹持抓取装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体晶圆的夹持抓取装置,包括U形托板(1),其特征在于:所述U形托板(1)的外表面滑动连接有导向组件(2),所述导向组件(2)的一侧固定连接有一号斜板(3),所述一号斜板(3)的一端转动连接有定位轮组件(4),所述导向组件(2)的上表面固定连接有L形板(5),所述L形板(5)的外表面固定连接有气缸(6),所述U形托板(1)的前端转动连接有二号斜板(7),所述二号斜板(7)的下表面转动连接有套杆(8),所述套杆(8)的一端安装有活塞(9),所述活塞(9)的外表面设置有套筒(10),所述套筒(10)的一端螺纹连接有旋转座(11),且所述套筒(10)的外表面连接有气嘴(12),所述气嘴(12)的外表面螺纹连接有盖帽(13),所述盖帽(13)的端面上固定连接有气管一(14),所述气管一(14)的一端固定连接有截止阀(15),所述套筒(10)的外表面套接有压簧(16),所述U形托板(1)的下表面固定连接有连接板(17);所述定位轮组件(4)包括有一个转轴(41),所述转轴(41)的外表面转动连接有芯体(42),所述芯体(42)的外表面套接有环形气囊(43),所述环形气囊(43)的上表面和下表面均贴合有限位片(44),所述转轴(41)的外表面固定连接挡片(45),且所述转轴(41)的顶端螺纹连接锁紧螺母(46)。
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