恭喜江苏恒业半导体技术有限公司闫威省获国家专利权
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龙图腾网恭喜江苏恒业半导体技术有限公司申请的专利一种气相沉积系统及气相沉积设备的承载组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119177434B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411676476.7，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权一种气相沉积系统及气相沉积设备的承载组件是由闫威省;闫省;王志龙设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气相沉积系统及气相沉积设备的承载组件在说明书摘要公布了：本发明公开了一种气相沉积系统及气相沉积设备的承载组件，属于沉积设备技术领域，包括安装箱体，所述安装箱体上设置有移动板体以及用于驱动移动板体移动的气缸一，所述移动板体的一侧由下至上依次设置有下板体和上板体，所述上板体上设置有收纳件、多个承载件以及用于将样品从收纳件分别转运到多个承载件上的输送单元，所述上板体的上表面设置有多个隔板，通过多个所述隔板将上板体分隔成多个区域，所述收纳件和多个承载件分别位于不同的区域内。能够实现对多个样品进行分别沉积，也能够确保每个样品都能均匀地受到反应物质的作用，也避免样品之间的相互干扰。
本发明授权一种气相沉积系统及气相沉积设备的承载组件在权利要求书中公布了：1.一种气相沉积设备的承载组件，包括安装箱体，其特征在于，所述安装箱体上设置有移动板体以及用于驱动移动板体移动的气缸一，所述移动板体的一侧由下至上依次设置有下板体和上板体，所述上板体上设置有收纳件、多个承载件以及用于将样品从收纳件分别转运到多个承载件上的输送单元，所述上板体的上表面设置有多个隔板，通过多个所述隔板将上板体分隔成多个区域，所述收纳件和多个承载件分别位于不同的区域内；所述输送单元包括转运壳体，所述转运壳体内壁的底部转动连接有安装盘，所述转运壳体的一侧设置有驱动安装盘旋转的执行器，所述安装盘上设置有输送件，所述转运壳体上开设有多个分别与多个区域连通的贯穿槽。
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