恭喜北京中科科仪股份有限公司石晓倩获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京中科科仪股份有限公司申请的专利一种扫描电镜样品台获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119164989B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411669274.X,技术领域涉及:G01N23/2204;该发明授权一种扫描电镜样品台是由石晓倩;孟祥良;张成龙;刘涛;尹贻恒设计研发完成,并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种扫描电镜样品台在说明书摘要公布了:本发明涉及扫描电镜技术领域,公开了一种扫描电镜样品台,包括:待测样品位于R轴组件上,R轴组件带动待测样品在水平面旋转;R轴组件设置于X轴组件上,X轴组件带动R轴组件沿X轴移动;X轴组件设置于Y轴组件上,Y轴组件带动X轴组件沿Y轴移动;Y轴组件设置于T轴组件上,T轴组件带动Y轴组件绕T轴旋转;T轴与待测样品表面扫描位置位于同一直线;T轴组件设置于Z轴组件上,Z轴带动T轴组件沿Z轴移动。本申请将T轴组件设置于Z轴组件上,避免由于Z轴组件升降,在T轴组件旋转时,原处于视野中心的待测样品表面扫描位置失焦,导致重新调整电子束方向或重新调整五轴自动样品台,严重占用扫描时间。
本发明授权一种扫描电镜样品台在权利要求书中公布了:1.一种扫描电镜样品台,其特征在于,包括:R轴组件(2),待测样品(1)位于所述R轴组件(2)上,所述R轴组件(2)适于带动所述待测样品(1)在水平面内旋转;X轴组件(3),所述R轴组件(2)设置于所述X轴组件(3)上,所述X轴组件(3)适于带动所述R轴组件(2)在水平面内沿着X轴移动;Y轴组件(4),所述X轴组件(3)设置于所述Y轴组件(4)上,所述Y轴组件(4)适于带动所述X轴组件(3)在水平面内沿着Y轴移动;所述X轴与Y轴互相垂直;T轴组件(6),所述Y轴组件(4)设置于所述T轴组件(6)上,所述T轴组件(6)适于带动所述Y轴组件(4)绕着T轴旋转;所述T轴与所述待测样品(1)表面的扫描位置位于同一直线;Z轴组件(5),所述T轴组件(6)设置于所述Z轴组件(5)上,所述Z轴组件(5)适于带动所述T轴组件(6)沿着Z轴上下移动;所述Z轴与X轴、Y轴均垂直,且所述T轴与Z轴垂直;还包括:承载组件(8),设置于所述R轴组件(2)上,所述待测样品(1)位于所述承载组件(8)上,所述承载组件(8)适于调节所述待测样品(1)的高度,以使得所述T轴与所述待测样品(1)表面的扫描位置位于同一水平面;通过调节X轴组件(3)和或Y轴组件(4)移动,以使得所述T轴与所述待测样品(1)表面的扫描位置位于同一直线;所述承载组件(8)包括:固定座(9),在所述固定座(9)的顶面上靠近边缘的位置设有多个安装孔(15),以分别安装多个样品杯,所述待测样品(1)位于其中的一个样品杯上;螺杆(10),顶端与所述固定座(9)的底面固定连接,所述螺杆(10)与所述R轴组件(2)螺纹连接;所述承载组件(8)适于在转动固定座(9)和螺杆(10)时,以带动所述待测样品(1)上升或下降;所述承载组件(8)还包括:限位件(11),螺纹套设连接于所述螺杆(10)的部分螺纹长度上,且所述限位件(11)位于所述固定座(9)与R轴组件(2)之间;所述限位件(11)具有在旋紧至与R轴组件(2)的顶面抵接时,以限制固定座(9)和螺杆(10)旋转的第一状态,以及具有在旋松至与R轴组件(2)的顶面存在间隙时,以使得固定座(9)和螺杆(10)旋转的第二状态;在所述螺杆(10)的外周设有沿高度方向的平面,在所述平面上设有标识高度的刻线(12);所述T轴组件(6)设有悬臂(13),所述T轴组件(6)通过悬臂(13)带动所述Y轴组件(4)绕着T轴旋转;所述安装孔(15)为圆孔,直径为3.4mm;所述样品杯由位于上部的支撑平板和位于下部的支撑柱组成;所述待测样品(1)位于所述支撑平板上。
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