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龙图腾网恭喜杭州众硅电子科技有限公司申请的专利一种晶圆搬运装置及抛光系统、抛光工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119141422B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411661227.0，技术领域涉及：B24B29/02；该发明授权一种晶圆搬运装置及抛光系统、抛光工艺是由徐枭宇;郑东州设计研发完成，并于2024-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆搬运装置及抛光系统、抛光工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆搬运装置及抛光系统、抛光工艺，晶圆搬运装置，包括：箱体，内置有流体介质，顶部具有开口，其至少具有第一工作位和第二工作位；片盒，具有多个用于放置晶圆的腔体槽，可自箱体的顶部开口置于箱体内；转移机构，用于获取片盒内的晶圆并转移至抛光区域，对应第二工作位设置；在第一工作位，片盒置入箱体的流体介质内；在第二工作位，转移机构将流体介质内的片盒向外输送；移动机构，用于驱动片盒在流体介质中、于第一工作位和第二工作位之间移动。本发明晶圆在第一工作位和第二工作位之间移动过程都处于流体介质内，保持晶圆湿润的状态，避免晶圆表面粘附污垢或微尘，保持晶圆良好的状态，避免晶圆产生缺陷。

本发明授权一种晶圆搬运装置及抛光系统、抛光工艺在权利要求书中公布了：1.一种抛光工艺，依托于抛光系统，该抛光系统包括晶圆搬运装置，及抛光单元，所述晶圆搬运装置包括，箱体，内置有流体介质，顶部具有开口，其至少具有第一工作位和第二工作位；所述箱体的数量为两个，其并排设置，以使得两个箱体的第二工作位相邻；片盒，具有多个用于放置晶圆的腔体槽，可自所述箱体的顶部开口置于箱体内；转移机构，用于获取片盒内的晶圆并转移至抛光区域，对应所述第二工作位设置；在所述第一工作位，所述片盒置入箱体的流体介质内；在第二工作位，所述转移机构将流体介质内的片盒向外输送；移动机构，用于驱动片盒在流体介质中、于第一工作位和第二工作位之间移动；所述抛光单元设于抛光区域，其至少包括位于箱体同侧的第一抛光单元和第二抛光单元，且该第一抛光单元和第二抛光单元的连线与所述第一工作位和第二工作位的连线平行或趋于平行；所述抛光单元的数量为两个，其并排设置；或者，所述抛光单元的数量为四个，其中两个抛光单元并排设置在两个箱体的同一侧，另外两个抛光单元并排设置在两个箱体的另外同一侧；或者，所述抛光单元的数量为2n+2m，其中2n个抛光单元并排设置在两个箱体的同一侧，另外2m个抛光单元并排设置在两个箱体的另外同一侧，m和n相同或不相同；其特征在于：抛光工艺包括以下步骤，S1，将装有待抛光晶圆的第一片盒置入内置有流体介质的第一箱体内，并将第一片盒固定安装在第一移动机构，此时第一片盒内晶圆完全浸没在流体介质内，第一移动机构位于第一工作位；将装有待抛光晶圆的第二片盒置入内置有流体介质的第二箱体内，并将第二片盒固定安装在第二移动机构，此时第二片盒内晶圆完全浸没在流体介质内，第二移动机构位于第一工作位；S2，第一移动机构将第一片盒从第一工作位转移至第二工作位，第一片盒内晶圆保持在完全浸没在流体介质内的状态；第二移动机构将第二片盒从第一工作位转移至第二工作位，第二片盒内晶圆保持在完全浸没在流体介质内的状态；S3，转移机构将第一片盒中位于流体介质内的晶圆取出、并转移至抛光区域；S4，第一片盒的晶圆完成抛光后，转移机构将其转移至第一片盒内，使得完成抛光的晶圆重新浸没在流体介质内；S5，第一片盒内的晶圆均完成抛光后，第一移动机构将第一片盒从第二工作位转移至第一工作位，第一片盒内晶圆保持在完全浸没在流体介质内的状态；此时，转移机构将第二片盒中位于流体介质内的晶圆取出、并转移至抛光区域；此时，第一片盒在第一工作位与完成抛光的晶圆一起整体取出，进入下一步工艺流程，并将置有未抛光晶圆的另一第一片盒置入第一箱体；S6，第二片盒的晶圆完成抛光后，转移机构将其转移至第二片盒内，使得完成抛光的晶圆重新浸没在流体介质内；此时，第一移动机构将另一第一片盒从第一工作位转移至第二工作位，另一第一片盒内晶圆保持在完全浸没在流体介质内的状态；S7，第二片盒内的晶圆均完成抛光后，第二移动机构将第二片盒从第二工作位转移至第一工作位，第二片盒内晶圆保持在完全浸没在流体介质内的状态；转移机构将更新后的另一第一片盒中位于流体介质内的晶圆取出、并转移至抛光区域。

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