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龙图腾网恭喜武汉大学申请的专利一种高纯轻金属掺杂LiNbO₃压电涂层及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119144930B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411632487.5，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种高纯轻金属掺杂LiNbO₃压电涂层及其制备方法是由曾晓梅;佩列诺维奇·瓦西里·奥列戈维奇设计研发完成，并于2024-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高纯轻金属掺杂LiNbO₃压电涂层及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种高纯轻金属掺杂LiNbO3压电涂层及其制备方法，涉及铌酸锂压电涂层技术领域。涂层的制备方法包括设计轻金属元素掺杂的铌酸锂靶材；打磨清洁衬底和磁控溅射设备；安装靶材和衬底；开启磁控溅射设备，清洗靶材的表面；采用射频磁控溅射法沉积靶材至衬底的正面，制得轻金属掺杂铌酸锂压电涂层。对本发明制备的轻元素掺杂的铌酸锂压电涂层进行结构、形貌、元素、超声性能、压电性能测试，发现该涂层不含LiNb3O8缺锂相，也不含NbO、Nb2O5等杂质相，为高纯轻金属掺杂LiNbO3压电涂层。调节掺杂元素及其含量，可以获得优于纯铌酸锂压电涂层的压电常数和超声信号，且具有优异的高温性能稳定性。

本发明授权一种高纯轻金属掺杂LiNbO₃压电涂层及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种高纯轻金属掺杂LiNbO3材料在压电涂层中的应用，其特征在于，所述高纯轻金属掺杂LiNbO3材料的制备方法包括以下步骤：设计轻金属元素掺杂铌酸锂靶材；打磨清洁衬底和磁控溅射设备；在所述磁控溅射设备中安装所述轻金属元素掺杂铌酸锂靶材和衬底；启动磁控溅射设备直至达到理想真空度和目标温度；将所述衬底的正面旋转至与所述轻金属元素掺杂铌酸锂靶材表面为非相对状态，设置环境参数，清洁所述轻金属元素掺杂铌酸锂靶材的表面；将所述衬底的正面旋转至与所述轻金属元素掺杂铌酸锂靶材表面相对，设置环境参数，采用射频磁控溅射法在所述衬底的正面沉积所述轻金属元素掺杂的铌酸锂压电涂层；所述轻金属元素掺杂铌酸锂靶材中，所述轻金属为Cr、Sc、Zr、Cu、Zn、Fe、Ti、Ni、Al、Co、Y中的至少一种；设置环境参数包括引入Ar气和O2气并控制通入流量，设置射频功率和偏置电压；所述轻金属为Cr时，掺杂原子数量占比为1.1–6.42%；所述轻金属为Sc时，掺杂原子数量占比为1.4–3.0%；所述轻金属为Zr时，掺杂原子数量占比为1.01–3.34%；所述轻金属为Cu时，掺杂原子数量占比为0.86–6.72%；所述轻金属为Zn时，掺杂原子数量占比为1.83–3.81%；所述轻金属为Fe时，掺杂原子数量占比为2.1–4.83%；所述轻金属为Ti时，掺杂原子数量占比为0.27–1.4%；所述轻金属为Ni时，掺杂原子数量占比为0.55–5.11%；所述轻金属为Al时，掺杂原子数量占比为0.7–1.25%；所述轻金属为Co时，掺杂原子数量占比为5.2–8.3%；所述轻金属为Y时，掺杂原子数量占比为1.60–5.03%。

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