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龙图腾网恭喜深圳市易天自动化设备股份有限公司申请的专利一种晶圆UV贴膜机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119153367B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411627279.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆UV贴膜机是由高军鹏;陈涛;朱远福设计研发完成，并于2024-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆UV贴膜机在说明书摘要公布了：本发明涉及一种晶圆UV贴膜机，包括料盒组件、晶圆搬运组件、对位组件、晶圆承载组件、切膜组件、夹膜丢膜组件、贴膜组件和撕膜辅助组件；对位组件用于对晶圆进行精准矫正，晶圆承载组件用于将晶圆运送至各模组下方，切膜组件多方位对UV膜卷料切割直至与晶圆形状大小一致，贴膜组件自动施加下压力对晶圆进行贴膜，撕膜辅助组件对已贴膜晶圆的表面贴附撕膜贴。本发明提出全自动化对晶圆进行贴膜，有效提高了晶圆贴膜效率；本发明提出多个对位相机精准矫正晶圆位置，有利于提高贴膜准确率；本发明提出采用多个切膜刀对UV卷料进行多方位切割，有利于减少材料损耗，降低成本；本发明提出贴膜时施加下压力，有利于避免产生气泡，提高贴合效果。

本发明授权一种晶圆UV贴膜机在权利要求书中公布了：1.一种晶圆UV贴膜机，包括机架，其特征在于，包括洁净棚、料盒组件、晶圆搬运组件、对位组件、晶圆承载组件、切膜组件、夹膜丢膜组件、贴膜组件和撕膜辅助组件，所述夹膜丢膜组件设于所述切膜组件上，所述洁净棚、所述料盒组件、所述晶圆搬运组件、所述对位组件、所述晶圆承载组件、所述切膜组件、所述贴膜组件和所述撕膜辅助组件分别设于所述机架上；所述对位组件包括至少两个对位相机，并用于矫正晶圆位置；所述晶圆承载组件活动设置于所述切膜组件、所述夹膜丢膜组件、所述贴膜组件和所述撕膜辅助组件下方，并用于承载所述晶圆；所述切膜组件位于所述机架一侧；所述贴膜组件位于所述切膜组件前方；所述夹膜丢膜组件位于所述切膜组件与所述贴膜组件之间，并用于将废膜夹出并丢弃；所述对位组件包括对位X轴模组、对位X轴驱动件、对位支撑架、对位Y轴模组、对位Y轴驱动件、对位平台、对位旋转驱动件和矫正板；所述对位支撑架在所述对位X轴驱动件的驱动下沿所述对位X轴模组方向运动；所述对位Y轴模组固设于所述支撑架上，所述对位平台设于所述对位Y轴模组上方，所述对位平台在所述对位Y轴驱动件的驱动下沿所述对位Y轴模组方向运动；所述矫正板位于所述对位平台上方，所述对位旋转驱动件位于所述对位平台下方，并与所述对位平台固定连接，所述对位旋转驱动件的输出端穿过所述对位平台，并与所述矫正板固定连接，所述对位旋转驱动件驱动所述矫正板旋转运动；所述矫正板用于矫正所述晶圆位置；所述对位X轴驱动件、对位Y轴驱动件和所述对位旋转驱动件配合运动用于带动所述矫正板水平运动和旋转运动；所述对位组件还包括多个模组感应器，所述模组感应器分别设于所述对位X轴模组和所述对位Y轴模组上，并用于对模组上的物体的运动位置进行检测；所述对位组件还包括对位底架、第一相机安装板、第一相机、第二相机连接板、第二相机安装板和第二相机；所述对位底架与所述机架固定连接；所述第一相机位于所述对位底架侧方，并通过所述第一相机安装板与所述对位底架固定连接；所述第二相机连接板位于所述对位底架上方，并与所述对位底架固定连接；所述第二相机位于所述第二相机连接板下方，并通过所述第二相机安装板与所述第二相机连接板固定连接；所述第二相机与所述第一相机平行，所述第二相机用于对所述矫正板上的所述晶圆进行初步对位，所述第一相机用于对所述晶圆进行精准对位。

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