买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜上海图双精密装备有限公司申请的专利晶圆寻边方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119108317B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411579395.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆寻边方法和装置是由朱晨宇设计研发完成，并于2024-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆寻边方法和装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆寻边方法和装置，该方法包括：采集晶圆的边缘图像，晶圆载置于chuck台，chuck台能沿X、Y和θ轴移动；从边缘图像获得圆弧特征点和缺口特征点；对圆弧特征点进行圆拟合以获得第一经拟合圆；基于第一经拟合圆和第一预设阈值识别并筛除圆弧特征点中的异常点；对剩余圆弧特征点再次进行圆拟合以获得第二经拟合圆；基于第二经拟合圆和第二预设阈值识别并筛除剩余圆弧特征点中的异常点以获得经筛选圆弧特征点；基于经筛选圆弧特征点确定晶圆的圆心偏差；使chuck台沿X、Y和θ轴中的一者或多者移动以对圆心偏差进行圆心补偿，在此期间晶圆和chuck台分离；基于缺口特征点确定晶圆的角度偏差；使chuck台围绕chuck台圆心旋转以对角度偏差进行旋转补偿。

本发明授权晶圆寻边方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆寻边方法，包括：采集晶圆的边缘图像，其中所述晶圆载置于chuck台，所述chuck台能够沿X轴、Y轴和θ轴移动；从所述边缘图像中获得所述晶圆边缘的圆弧特征点和缺口特征点；对所述圆弧特征点进行圆拟合以获得第一经拟合圆；基于所述第一经拟合圆和第一预设阈值来识别并筛除所述圆弧特征点中的异常点；对剩余圆弧特征点再次进行圆拟合以获得第二经拟合圆，其中所述第二经拟合圆相比于所述第一经拟合圆更加接近所述晶圆所在的真实圆；基于所述第二经拟合圆和第二预设阈值来识别并筛除所述剩余圆弧特征点中的异常点以获得经筛选圆弧特征点，其中所述第一预设阈值和所述第二预设阈值能够基于预设规则在特定范围内动态调整；基于所述经筛选圆弧特征点来确定所述晶圆的圆心偏差；使所述chuck台沿X轴、Y轴和θ轴中的一者或多者移动以对所述圆心偏差进行圆心补偿，其中在圆心补偿期间所述晶圆和所述chuck台分离；基于所述缺口特征点来确定所述晶圆的角度偏差；以及使所述chuck台围绕chuck台圆心旋转以对所述角度偏差进行旋转补偿，其中，所述晶圆的边缘图像是通过图像采集单元获得的，其中所述图像采集单元在转动所述chuck台时对所述晶圆的边缘进行图像采集，并且其中，所述图像采集单元包括位于所述晶圆上方的相机以及位于所述晶圆下方的背面光源，并且所述方法还包括：在所述图像采集过程中，检测所述晶圆是否透明；以及仅在检测到所述晶圆透明的情况下打开所述背面光源。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海图双精密装备有限公司，其通讯地址为：201206 上海市浦东新区金海路955弄1号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。