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龙图腾网恭喜泰微科技(珠海)有限公司申请的专利一种表面形貌数据重采样方法及晶圆厚度测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119025836B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411521494.8，技术领域涉及：G06F18/10；该发明授权一种表面形貌数据重采样方法及晶圆厚度测量方法是由黎雪峰;陈保顺设计研发完成，并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种表面形貌数据重采样方法及晶圆厚度测量方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种表面形貌数据重采样方法及晶圆厚度测量方法，表面形貌数据重采样方法包括以下步骤：对被测物体原始形貌数据进行预处理，去除异常数据，得到预处理后的采样数据；对预处理后的采样数据进行区域分割，得到分割后的网格数据；基于每个网格点周围采样点的原始采样相对高度值以及其对网格点的贡献权重，通过加权计算得到每个网格点的相对高度值；根据重采样间隔生成覆盖被测物体的重采样点阵列；基于重采样点阵列中的每个重采样点，利用其周围的四个网格点的相对高度值及其对应的贡献权重，计算每个重采样点的相对高度值。该方法能够实现对被测物体形貌原始数据进行有效去噪和数据分布均匀化，精确地反映被测物体的真实形貌。

本发明授权一种表面形貌数据重采样方法及晶圆厚度测量方法在权利要求书中公布了：1.一种表面形貌数据重采样方法，其特征在于，包括以下步骤：对被测物体原始形貌数据进行预处理，去除异常数据，得到预处理后的采样数据Data_nrX_nr,Y_nr,Z_nr；对预处理后的采样数据Data_nr进行区域分割，得到分割后的同方向等间距的网格数据Data_gridX_grid,Y_grid；基于每个网格点周围采样点的原始采样相对高度值Z_nr[pi]以及其对网格点的贡献权重Wpi，通过加权计算得到每个网格点的相对高度值Zgrid[P]；根据重采样间隔生成覆盖被测物体的重采样点阵列Data_coX_q,Y_q；基于重采样点阵列中的每个重采样点，利用其周围的四个网格点的相对高度值ZP1,ZP2,ZP3,ZP4及其对应的贡献权重Wq，计算每个重采样点的相对高度值Z_q，从而生成重采样后的数据Data_rsX_q,Y_q，Z_q。

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