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龙图腾网恭喜湖南红太阳光电科技有限公司申请的专利PECVD设备石墨舟电极引入装置及电极引入控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118957543B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411452051.8，技术领域涉及：C23C16/50；该发明授权PECVD设备石墨舟电极引入装置及电极引入控制方法是由肖洁;张弥涛;周佑丞;张春成;成秋云;柳懿锋设计研发完成，并于2024-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本PECVD设备石墨舟电极引入装置及电极引入控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种PECVD设备石墨舟电极引入装置及电极引入控制方法，包括：驱动元件、支撑底座、固定座、滑动组件和电极杆，支撑底座的一侧与PECVD设备的炉尾法兰连接，支撑底座的另一侧设有驱动元件，驱动元件的输出端与固定座连接，支撑底座上设有滑动组件，固定座的下部与滑动组件连接，固定座的上部与电极杆连接，电极杆穿过炉尾法兰，伸入反应室内；在驱动元件的驱动下，固定座和滑动组件带动电极杆进行直线往复移动，以实现电极杆插入或脱离石墨舟的电极孔。本发明具有结构紧凑、体积小巧且拆装便捷等优点，在电极引入过程中，电极杆仅进行直线位移，无下压动作，不容易变形，也避免了电极杆与石墨舟冲击而造成石墨舟损耗。

本发明授权PECVD设备石墨舟电极引入装置及电极引入控制方法在权利要求书中公布了：1.一种PECVD设备石墨舟电极引入装置，其特征在于，包括：驱动元件（1）、支撑底座（2）、固定座（3）、滑动组件和电极杆（8），所述支撑底座（2）的一侧与PECVD设备的炉尾法兰（100）连接，所述支撑底座（2）的另一侧设有驱动元件（1），所述驱动元件（1）的输出端与固定座（3）连接；所述滑动组件包括滑块（4）和直线导轨（5），所述直线导轨（5）设置在支撑底座（2）上，所述滑块（4）滑动设置在直线导轨（5）上，所述固定座（3）的下部与滑块（4）连接固定，固定座（3）的上部与电极杆（8）连接，电极杆（8）穿过炉尾法兰（100），伸入反应室内；在驱动元件（1）的驱动下，固定座（3）和滑块（4）带动电极杆（8）沿着直线导轨（5）进行直线往复移动，以实现电极杆（8）插入或脱离石墨舟（200）的电极孔（201）；电极引入控制方法，包括以下步骤：步骤S1、将驱动元件（1）与外置控制系统连接，在驱动元件（1）上设置与外置控制系统连接的力矩传感器，在石墨舟（200）的电极孔（201）内设置与外置控制系统连接的位置传感器；步骤S2、当石墨舟（200）在PECVD设备的反应室中落位后，控制系统控制驱动元件（1）驱动电极杆（8）运动；步骤S3、利用力矩传感器检测驱动元件（1）输出的力矩值，并传送至控制系统，控制系统判断电极杆（8）移动的状态；步骤S4、利用位置传感器检测电极杆（8）插入电极孔（201）内的状态，并传送至控制系统，控制系统判断电极杆（8）插入的状态。

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