上海创贤半导体有限公司张畅获国家专利权
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龙图腾网获悉上海创贤半导体有限公司申请的专利一种功率半导体键合接触检测装置及其检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119133008B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411201415.5,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权一种功率半导体键合接触检测装置及其检测方法是由张畅;游海涛设计研发完成,并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种功率半导体键合接触检测装置及其检测方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种功率半导体键合接触检测装置及其检测方法,涉及半导体加工技术领域,包括焊接检测部分和成品检测部分;焊接检测部分设置在加工装置的焊接组件内,包括位移传感器、下压力发生器、超声波换能器、劈刀、铝线送线管、切刀和铝线;所述位移传感器与下压力发生器作为一个整体与焊接组件硬连接;成品检测部分设置在加工装置内产品移动方向一侧,并且包括截断组件、检测组件;截断组件和检测组件分别对待检测样品的两侧进行固定。本发明通过设置焊接检测部分和成品检测部分,可以对产品进行多次检测,从而提高产品的质量;通过焊接检测部分进行检测时,可以在每次焊接时,避免因焊接面高度不一致导致的接触不良或表面损坏。
本发明授权一种功率半导体键合接触检测装置及其检测方法在权利要求书中公布了:1.一种功率半导体键合接触检测装置,其特征在于:包括焊接检测部分和成品检测部分;焊接检测部分设置在加工装置的焊接组件内,包括位移传感器、下压力发生器、超声波换能器、劈刀、铝线送线管、切刀和铝线;所述位移传感器与下压力发生器作为一个整体与焊接组件硬连接;所述超声波换能器、劈刀、铝线送线管、切刀和铝线作为一个整体与焊接组件软连接,并且超声波换能器、劈刀、铝线送线管、切刀和铝线整体相对于位移传感器和下压力发生器进行上、下移动;成品检测部分设置在加工装置内产品移动方向一侧,并且包括截断组件、检测组件和监测组件,所述监测组件设置在截断组件和检测组件的上侧;截断组件和检测组件分别对待检测样品的两侧进行固定;截断组件启动后,将样品截断;检测组件启动后,将样品的键合部位沿键合线的方向进行拉伸;所述截断组件包括连接块,所述连接块沿产品移动方向的两侧均安装有动力模块;所述连接块上表面的两端均安装有连接架,两组所述连接架的内部顶端均安装有第一固定模块;所述连接块内部位于两组动力模块之间开设有收纳槽;收纳槽的内部通过第一升降机构安装有截断机构;所述检测组件包括基台;所述基台的上侧设置有连接平台,且基台的上表面安装有水平驱动机构,所述水平驱动机构与连接平台之间通过压力检测模块相连接;所述连接平台的上侧安装有固定架,所述固定架内部顶端安装有至少一组第二固定模块。
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