恭喜苏州芯轮半导体科技有限公司温鹏飞获国家专利权
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龙图腾网恭喜苏州芯轮半导体科技有限公司申请的专利一种运用于晶圆抛光的化学液排液切换机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222589341U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421790235.0，技术领域涉及：B24B57/02；该实用新型一种运用于晶圆抛光的化学液排液切换机构是由温鹏飞设计研发完成，并于2024-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种运用于晶圆抛光的化学液排液切换机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种运用于晶圆抛光的化学液排液切换机构，包括分液盒，所述分液盒中间设置有隔离板，所述隔离板将分液盒分割为第一排液区和第二排液区，所述第一排液区和第二排液区内均设置有排液管，所述隔离板上方设置有切换盒，所述切换盒底部设置有排液口，所述切换盒与切换动力缸连接，所述切换动力缸带动切换盒及排液口在第一排液区和第二排液区中往复移动。本实用新型能够自动对排液进行分区排放，结构简单，操作便捷。
本实用新型一种运用于晶圆抛光的化学液排液切换机构在权利要求书中公布了：1.一种运用于晶圆抛光的化学液排液切换机构，其特征在于，包括分液盒，所述分液盒中间设置有隔离板，所述隔离板将分液盒分割为第一排液区和第二排液区，所述第一排液区和第二排液区内均设置有排液管，所述隔离板上方设置有切换盒，所述切换盒底部设置有排液口，所述切换盒与切换动力缸连接，所述切换动力缸带动切换盒及排液口在第一排液区和第二排液区中往复移动。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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