昆山基侑电子科技有限公司胡兴华获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山基侑电子科技有限公司申请的专利一种晶圆清洗用干燥装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222598332U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421338638.1，技术领域涉及：F26B11/18；该实用新型一种晶圆清洗用干燥装置是由胡兴华;王静强;徐福兴设计研发完成，并于2024-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗用干燥装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉公开了一种晶圆清洗用干燥装置，包括底座，底座的上端设置有烘干室，底座的上表面转动安装有转轴，转轴的顶部和烘干室内的顶部转动连接，转轴的外周固定套设有固定套，固定套的外表面固定安装有连接杆，连接杆远离固定套的一端固定安装有放置架，底座的内部设置有空腔，空腔内固定安装有电机，转轴的下端穿过底座的上表面延伸至空腔内并和电机的输出端固定连接，烘干室的两侧相对的侧壁上均开设有风干口，烘干室未开设风干口的其中一侧外表面转动安装有密封门；通过电机带动转轴转动从而带动连接杆和放置架转动，使转轴搅动烘干箱内的热气，从而使晶圆表面烘干均匀，并通过转动加快晶圆表面热气的流动，进而加快晶圆的烘干速度。
本实用新型一种晶圆清洗用干燥装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗用干燥装置，包括底座1，其特征在于：所述底座1的底部四角处均固定安装有支撑柱2，底座1的上端设置有烘干室3，所述底座1的上表面转动安装有转轴4，所述转轴4的顶部和烘干室3内的顶部转动连接，所述转轴4的外周固定套设有固定套5，所述固定套5的外表面固定安装有连接杆6，所述连接杆6呈水平设置，所述连接杆6远离固定套5的一端固定安装有放置架7，所述底座1的内部设置有空腔8，所述空腔8内固定安装有电机9，所述转轴4的下端穿过底座1的上表面延伸至空腔8内并和电机9的输出端固定连接，所述烘干室3的两侧相对的侧壁上均开设有风干口10，所述烘干室3未开设风干口10的其中一侧外表面转动安装有密封门11。
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