江苏实为半导体科技有限公司师文亮获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏实为半导体科技有限公司申请的专利一种新型腔体加热盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222593990U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420664141.2，技术领域涉及：C23C14/22；该实用新型一种新型腔体加热盘是由师文亮;黎静设计研发完成，并于2024-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种新型腔体加热盘在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种新型腔体加热盘，包括腔体、加热盘和附属组件，所述腔体包括外腔体和内腔体，所述内腔体通过镶嵌的方式安装于外腔体内，所述内腔体的底部壁板上安装有内托板，所述内托板设置为中空结构；所述加热盘包括加热盘本体，所述加热盘本体的上端镶嵌于内托板的中空处，所述加热盘本体上设置有加热板；所述附属组件包括热电偶和冷却管。本实用新型的铝制加热盘只对需要溅射的硅片加热，具有能耗小和加热精准的特点；加热盘独立热电偶温控，温度更均匀精准；加热盘设置有冷却水管，溅射完成后可迅速冷却，冷却时间短；加热盘内镶嵌铠装加热管寿命更长；加热盘局部精准加热避免腔体长时间受热，降低了维护保养的成本。
本实用新型一种新型腔体加热盘在权利要求书中公布了：1.一种新型腔体加热盘，其特征在于，包括：腔体，包括外腔体和内腔体，所述内腔体通过镶嵌的方式安装于外腔体内，所述内腔体的底部壁板上安装有内托板，所述内托板设置为中空结构；加热盘，包括加热盘本体，所述加热盘本体的上端镶嵌于内托板的中空处，所述加热盘本体上设置有加热板；附属组件，包括热电偶和冷却管，所述热电偶的一端设置有热电偶基座，所述热电偶基座安装于加热盘本体内，所述冷却管设置为盘管并安装于加热盘本体内。
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