江苏启微半导体设备有限公司杨鑫获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏启微半导体设备有限公司申请的专利一种往复式晶圆扫片装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222600944U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420669580.2，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种往复式晶圆扫片装置是由杨鑫;徐铭;屠国强设计研发完成，并于2024-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种往复式晶圆扫片装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种往复式晶圆扫片装置，其中，包括：工作台，设置有一中间镂空的晶圆承载位，以承载晶圆盒，晶圆盒的两侧面对向设置有多个竖直排布的安装槽；检测装置，包括传动装置、安装支架以及光纤传感器；安装支架通过安装板安装在工作台的一侧，安装支架包括垂直设置于工作台一侧的主支架、伸出主支架上端的第一支架以及伸出主支架下端的第二支架；光纤传感器的信号发射端和信号接收端分别设置于安装支架的第一支架和第二支架；传动装置设置于安装板上，并带动安装支架同步移动。本实用新型检查时不会深入晶圆盒的内部，因此不会接触到晶圆片，提高了检测效率以及晶圆片的安全性，同时本实用新型安装以及调试方便。
本实用新型一种往复式晶圆扫片装置在权利要求书中公布了：1.一种往复式晶圆扫片装置，其特征在于，包括：工作台1，设置有一中间镂空的晶圆承载位，以承载晶圆盒2，所述晶圆盒2的两侧面对向设置有多个竖直排布的安装槽；检测装置，包括传动装置、安装支架以及光纤传感器；所述安装支架6通过安装板4安装在所述工作台1的一侧，所述安装支架包括垂直设置于所述工作台1一侧的主支架61、伸出所述主支架上端的第一支架62以及伸出所述主支架下端的第二支架63；所述光纤传感器的信号发射端51和信号接收端52分别设置于安装支架6的第一支架62和第二支架63；所述传动装置设置于所述安装板4上，并带动所述安装支架6同步移动。
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