长沙元戎科技有限责任公司齐卫冲获国家专利权
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龙图腾网获悉长沙元戎科技有限责任公司申请的专利一种高靶材利用率的强磁溅射阴极获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222593994U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420631975.3，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种高靶材利用率的强磁溅射阴极是由齐卫冲设计研发完成，并于2024-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高靶材利用率的强磁溅射阴极在说明书摘要公布了：本实用新型涉及微纳加工技术领域，具体为一种高靶材利用率的强磁溅射阴极，包括电机驱动机构和靶材，所述靶材安装在电机驱动机构内；所述电机驱动机构内安装有压环，所述压环下端内通过螺纹安装有绝缘环，所述电机驱动机构内安装有强磁溅射组件，所述强磁溅射组件处于压环与电机驱动机构之间。本实用新型通过电机驱动机构驱动靶材上的第一N型永磁体、两组第二N型永磁体和四组S型永磁体转动，靶材表面磁场缓慢旋转，由第一N型永磁体、两组第二N型永磁体和四组S型永磁体转动对靶材表面产生四组溅射环转动，从而提高镍靶材利用率，使得磁场增强溅射阴极溅射速率和溅射均匀性等同于常规结构磁场增强型溅射阴。
本实用新型一种高靶材利用率的强磁溅射阴极在权利要求书中公布了：1.一种高靶材利用率的强磁溅射阴极，包括电机驱动机构1和靶材4，所述靶材4安装在电机驱动机构1内；其特征在于：所述电机驱动机构1内安装有压环2，所述压环2下端内通过螺纹安装有绝缘环3，所述靶材4内安装有强磁溅射组件，所述强磁溅射组件处于压环2与电机驱动机构1之间。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人长沙元戎科技有限责任公司，其通讯地址为：410000 湖南省长沙市浏阳经济技术开发区湘台路18号长沙E中心一期B2栋1层103号房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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