沈阳芯源微电子设备股份有限公司张强获国家专利权
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龙图腾网获悉沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请的专利一种半导体设备调试用装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222600955U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420617962.0，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种半导体设备调试用装置是由张强;龚明设计研发完成，并于2024-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体设备调试用装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体设备技术领域，具体地说是一种半导体设备调试用装置，包括框架、XYZ三维移动模组、晶圆承接手指及承片台；框架的内侧的底部位置设有若干个用于支撑晶圆的承片台，框架的内侧的中部位置设有XYZ三维移动模组，可替代高成本的专用机器人。XYZ三维移动模组连接有晶圆承接手指，晶圆承接手指用于取放晶圆。本实用新型提出的半导体设备调试用装置其运行逻辑符合光刻过程中实际光刻机机器手取片、送片的逻辑。本实用新型可在半导体设备厂内替代光刻机完成inline调试，整体结构紧凑占用空间小，能够满足大行程需求，结构简单，装卸方便，组合自由，制造成本低，维护方便。
本实用新型一种半导体设备调试用装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备调试用装置，其特征在于：包括框架1、XYZ三维移动模组2、晶圆承接手指3及承片台4；所述框架1的内侧的底部位置设有若干个用于支撑晶圆的所述承片台4，所述框架1的内侧的中部位置设有所述XYZ三维移动模组2，所述XYZ三维移动模组2连接有所述晶圆承接手指3，所述晶圆承接手指3用于取放晶圆。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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