安徽光智科技有限公司张傲获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽光智科技有限公司申请的专利一种晶圆测试载台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222599781U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420592655.1,技术领域涉及:G01R31/26;该实用新型一种晶圆测试载台是由张傲;余啸;汪小悦;刘文元;连军;许军设计研发完成,并于2024-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆测试载台在说明书摘要公布了:本申请涉及晶圆低温测试技术领域,具体公开了一种晶圆测试载台,包括:上台面与支撑柱;所述上台面设置于所述支撑柱上,用于供晶圆放置;所述支撑柱为镂空柱体。本方案中的支撑柱为镂空柱体,能够在测试过程中增加液氮与载台整体的接触面积,从而实现加快液氮为载台的降温速度,有效解决现有的晶圆载台降温速度较慢的问题。
本实用新型一种晶圆测试载台在权利要求书中公布了:1.一种晶圆测试载台,其特征在于,包括:上台面10与支撑柱20;所述上台面10设置于所述支撑柱20上,用于供晶圆放置;所述支撑柱20为镂空柱体。
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