广州增芯科技有限公司华志亮获国家专利权
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龙图腾网获悉广州增芯科技有限公司申请的专利离子注入机的工艺腔室及装置、颗粒自动监测系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222600906U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420595633.0，技术领域涉及：H01J37/244；该实用新型离子注入机的工艺腔室及装置、颗粒自动监测系统是由华志亮设计研发完成，并于2024-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本离子注入机的工艺腔室及装置、颗粒自动监测系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种离子注入机的工艺腔室及装置、颗粒自动监测系统，离子注入机的离子注入源按照预设的注入轨迹进入工艺腔室，在进行离子注入工艺时，工艺腔室为高真空腔室，工艺腔室包括：设置在离子注入源的注入轨迹范围内的晶圆承载台；以及腔室颗粒监测器；其中，腔室颗粒监测器包括：颗粒感应部和信号处理部；颗粒感应部的信号传输给信号处理部；颗粒感应部设置在离子注入源的注入轨迹范围外，信号处理部设置于工艺腔室外。本实用新型的技术方案，能够对工艺腔室内的颗粒浓度进行有效实时监测，并且可以真实反应工艺腔室内的颗粒浓度，监测准确度高。
本实用新型离子注入机的工艺腔室及装置、颗粒自动监测系统在权利要求书中公布了：1.一种离子注入机的工艺腔室，所述离子注入机的离子注入源按照预设的注入轨迹进入所述工艺腔室，其特征在于，在进行离子注入工艺时，所述工艺腔室为高真空腔室，所述工艺腔室包括：设置在离子注入源的注入轨迹范围内的晶圆承载台；以及腔室颗粒监测器；其中，所述腔室颗粒监测器包括：颗粒感应部和信号处理部；所述颗粒感应部的信号传输给所述信号处理部；所述颗粒感应部设置在所述离子注入源的注入轨迹范围外，所述信号处理部设置于所述工艺腔室外。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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