上海宏轶电子科技有限公司黄运军获国家专利权
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龙图腾网获悉上海宏轶电子科技有限公司申请的专利一种晶圆光刻胶贴膜压装装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222600054U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420582752.2，技术领域涉及：G03F7/16；该实用新型一种晶圆光刻胶贴膜压装装置是由黄运军设计研发完成，并于2024-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆光刻胶贴膜压装装置在说明书摘要公布了：一种晶圆光刻胶贴膜压装装置，包括下壳体、电动负压真空泵、空压机、上盖、台盘、电动推杆、气囊、排气阀门；下壳体侧端安装有连接管，连接管外侧端和电动负压真空泵进气端连接，上盖内下端安装有固定压圈，气囊外侧安装在固定压圈内侧；气囊一侧上安装有进气管，进气管和空压机排气管连接；所述电动推杆有多套，多套电动推杆的安装在下壳体内下端，台盘的下端外侧分别安装在多套电动推杆的上端。本新型能使得光刻胶贴膜能均匀粘接在晶圆表面上，使得光刻胶融化具有更好流动性，更好压入晶圆表面的凹槽内；通过水冷却贴膜后晶圆，能使得尽可能短的时间内对光刻胶进行固化、加快了冷却时间。本新型保证了产品质量基础上，还相应提高了生产效率。
本实用新型一种晶圆光刻胶贴膜压装装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆光刻胶贴膜压装装置，包括下壳体、电动负压真空泵、空压机、上盖、台盘、电动推杆、气囊；其特征在于，所述下壳体上端是开放式结构，下壳体的侧端安装有连接管，连接管外侧端和电动负压真空泵的进气端连接，上盖的内下端安装有固定压圈，气囊外侧安装在固定压圈内侧；所述气囊一侧上端安装有进气管，进气管上端和空压机的排气管连接；所述电动推杆有多套，多套电动推杆的安装在下壳体内下端，台盘的下端外侧分别安装在多套电动推杆的上端。
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