恭喜中国电子科技集团公司第四十八研究所陈若愚获国家专利权
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龙图腾网恭喜中国电子科技集团公司第四十八研究所申请的专利一种半导体炉管装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222598502U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420391329.4,技术领域涉及:F27D5/00;该实用新型一种半导体炉管装置是由陈若愚;杨金;曾桂辉;余洋;李东晖设计研发完成,并于2024-02-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体炉管装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种半导体炉管装置,包括炉体,炉体底部设有炉体开口,炉体下方设有多套炉门机构,炉门机构包括炉门、晶舟架、升降组件和水平位置调整组件,晶舟架设于炉门上用于装载晶圆片,升降组件用于带动炉门升降以使得炉门与炉体开口对接或分离,水平位置调整组件用于带动炉门水平调整位置以对准或偏离炉体开口。本实用新型的半导体炉管装置通过设置多套炉门机构,结构紧凑,可以在一套炉门机构升温过程中,其他套炉门机构进行冷却或者进出料操作,在不增加设备数量的前提下,降低相邻两批产品工艺等待时间,使得进出料更加方便快捷,提高生产效率,提高设备产能。本实用新型的半导体炉管装置具有结构紧凑、生产效率高和产能高的优点。
本实用新型一种半导体炉管装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体炉管装置,其特征在于:包括炉体1,所述炉体1底部设有炉体开口11,所述炉体1下方设有多套炉门机构,所述炉门机构包括炉门2、晶舟架3、升降组件4和水平位置调整组件5,所述晶舟架3设于炉门2上用于装载晶圆8,所述升降组件4用于带动炉门2升降以使得炉门2与炉体开口11对接或分离,所述水平位置调整组件5用于带动炉门2水平调整位置以对准或偏离炉体开口11。
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