恭喜睿励科学仪器(上海)有限公司熊林军获国家专利权
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龙图腾网恭喜睿励科学仪器(上海)有限公司申请的专利一种用于半导体设备的托盘结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222599019U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420389342.6，技术领域涉及：G01L5/00；该实用新型一种用于半导体设备的托盘结构是由熊林军;朱强铭设计研发完成，并于2024-02-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体设备的托盘结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于半导体设备的托盘结构，包括三点支撑结构，三点支撑结构包括三点支撑底座、分设在三点支撑底座上的三根长杆、以及设置在长杆末端的塑料pin，还包括晶圆托盘，所述三点支撑底座设置在所述晶圆托盘底部，所述长杆及塑料pin穿设所述晶圆托盘，且所述塑料pin突出于所述晶圆托盘上表面；所述三点支撑底座上设置有多个用于支撑所述晶圆托盘的支撑限位件。本实用新型中，通过支撑限位件顶在晶圆托盘背部，这样长杆末端被晶圆托盘限位，从而达到长杆末端稳定的效果。
本实用新型一种用于半导体设备的托盘结构在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体设备的托盘结构，包括三点支撑结构1，三点支撑结构1包括三点支撑底座11、分设在三点支撑底座11上的三根长杆12、以及设置在长杆12末端的塑料pin13，其特征在于，还包括晶圆托盘2，所述三点支撑底座11设置在所述晶圆托盘2底部，所述长杆12及塑料pin13均穿设所述晶圆托盘2，且所述塑料pin13顶端突出于所述晶圆托盘2上表面；所述三点支撑底座11上设置有多个用于支撑所述晶圆托盘2的支撑限位件7。
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